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CMP抛光液,芯片制造工艺中的先锋

  芯片制造工艺,可分为两个阶段:晶圆制造工序和晶圆上光刻集成电路图工序。CMP技术是晶圆制造工序的核心技术,CMP(化学机械抛光Chemical-Mechanical Polishing)技术的核心涉及两个,一个是抛光液技术,一个是抛光垫技术。
  晶圆,分割成小块,每块光刻上集成电路图就成芯片
  CMP抛光液
  晶圆制造工序,分为7个工序:扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、化学机械抛光(CMP)、金属化。CMP工序是通过机械研磨技术与表面化学作用相结合,使晶圆表面达到纳米级的平坦效果,这样才有利于下一步光刻集成电路图工序顺利进行。
  CMP抛光液,芯片制造工序中的"先锋"
  CMP抛光液的性能,决定了晶圆表面质量。CMP抛光液由研磨材料(常用的有纳米级Al2O3粒子和纳米级SiO2粒子)、PH调节剂、稳定剂、氧化剂、成膜剂,和具有腐蚀溶解作用的表面活性剂等组成。
  CMP抛光液对晶圆表面的作用机理,分为机械作用机理和化学作用机理。
  CMP抛光液,芯片制造工艺中的"先锋"
  机械作用机理
  CMP抛光液中的研磨材料对晶圆表面材料进行研磨去除,同时抛光液具有润滑和降温的作用。研磨下来的晶圆表面材料随着抛光液流走,有效避免划伤晶圆表面。
  化学作用机理
  抛光液中具有腐蚀作用的表面活性剂,会与晶圆表面材料发生轻微的化学反应,使晶圆表面材料软化。在机械作用的协同下,磨去晶圆表面的材料。
  抛光液,芯片制造工艺中的"先锋"
  CMP抛光液常用种类
  氧化硅抛光液:磨料SiO2粒子的粒径最小可以去到5纳米左右,最大不超过100纳米,磨料分散均一性好。适用于粗抛和精抛,抛光后易清洗,表面粗糙度低。
  氧化铝抛光液:磨料Al2O3粒子硬度高,在抛光液中的分散稳定性好于SiO2粒子。此种抛光液研磨力度大,抛光出来的晶圆镜面效果好。
  CMP抛光液,芯片制造工艺中的"先锋"
  如需了解水性抛光液怎么选用消泡剂,
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30只野鹿深夜闯入居民区啃食草坪,居民惊呆了英国每日邮报3月30日报道,当英国伦敦埃塞克斯郡的居民们都进入了梦乡的时候,30只野鹿悄无声息的漫步在埃塞克斯郡的街头,并在居民的私人草坪里大快朵颐。这些鹿直到次日凌晨4点左右才心通山这群网红,生宝宝啦春末夏至,眼下步入4月下旬尊禧梅花鹿小镇喜事儿连连!目前已有多只梅花鹿升级当妈妈生了可爱的鹿宝宝!4月13日,尊禧鹿场迎来2021年第一只小鹿顺利诞生!梅花鹿孕期大约在220天左右作为养生达人,怎么可以不懂鹿凝脂?自古以来人们都喜欢用肤如凝脂来形容女子肌肤嫩滑在许多古诗中可以找到见证手如柔荑,肤如凝脂诗经春寒赐浴华清池温泉水滑洗凝脂白居易长恨歌凝固的油脂细腻嫩滑用来赞美女子的肌肤恰如其分诗经90后花一半工资养生,透露出了一种什么样的无奈?前阵子的微博很热闹90后拿一半工资去养生的话题引发了很多人的讨论阿里健康发布过一份报告在淘宝上搜失眠的人90后占到近40,成为第一主力人手一个保温杯枸杞红枣桂圆干统统拿来泡茶开袋即热门的广场舞,正在偷走老年人的健康?跳广场舞是时下非常受群众欢迎的一种健身舞蹈,是实现健美健心健体健脑为一体的运动。然而,广场舞作为一种健身手段,也是一把双刃剑,但也可能对机体产生一定的健康隐患,就比如视频中的这位阿咸宁市纪委领导赴大竹村尊禧鹿业召开项目推进现场会云上通山报道4月15日,咸宁市纪委常委曾晖一行来我县慈口乡大竹村召开项目推进现场会。县委常委纪委书记监委主任刘海元出席会议。会上,市纪委驻村工作队员分别就湖北尊禧鹿业二期工程村农副高考前,家长注意事项,请知晓经常光顾我们尊禧鹿业福鹿优佳的赵姐,挑菜时总是特别仔细,后来熟悉了才知道,原来她家里有位高三考生。学业上帮不上忙的赵姐,就想着让孩子吃得好点,状态满满地迎接这场人生中最重要的考试,谷雨时节你的身体准备好迎接盛夏了吗?有句诗我们都背过好雨知时节,当春乃发生。谷雨节气后,会下几场晚春雨,这些晚春雨将大大地促进种子发芽生长,给我们带来绿油油的夏天金灿灿的秋天。庚子年三月二十七,谷雨,是二十四节气的第古法养生夏日高温来袭,会喝粥的人更长寿我得宛丘平易法,只将食粥致神仙。食粥是宋代著名爱国诗人陆游所写,陆游一生屡遭排挤,仕途坎坷,晚年又隐居山林,生活拮据。但是,在那个兵荒马乱的年代,他竟然活到83岁的高龄,而且耳不聋警惕,为什么老年人摔跤被称为最后一跤?俗话说人老腿先老。岁数大了,身体平衡性也差,跌倒的几率也显著增加。随着年龄的增长,由跌倒引发的损伤也在增多,而跌倒后损伤引起的并发症是65岁以上高龄老人死亡的重要因素。一旦老年人发绝了,原来这才是夏天的正确打开方式眼下一天比一天热,让人不禁感叹还有空调可以续命,并对古人升起了无限怜惜之情。但是看过之后才发现,古人借酒消夏比我们有意思多了。相传民间最早造酒的人是黄帝的一位手下,名叫杜康。那个时
有肾病能生孩子吗现在年轻女性患者有肾脏疾病,甚至出现肾脏功能减退,现在已有40多个病人按正常程序怀孕生小孩,甚至已经有病人怀双胞胎。甚至有病人怀不上小孩,应用药物治疗以后,特别是用传统中医治疗以后打呼噜的孩子该怎么办在上一篇腺样体肥大详细就医记(上)中,我已经介绍了腺样体肥大常见的症状,体征和对孩子生长发育外貌的影响。做一个简单回顾临床症状鼻腔腺样体肿大,造成鼻塞,打呼,张口呼吸。耳部腺样体阻本以为是感冒,却被查出肾衰竭,肾衰竭发生时有哪些症状傅先生33岁,2015年2月,因为天气降温,傅先生因受寒出现感冒咽痛咳嗽症状,本以为普通感冒好了就好了,但随后傅先生出现了视物模糊症状,发现血压升高,血压200135mmHg。同年有人提出老人肾衰竭能活多久,不能一概而论老人肾衰竭的生存期不能一概而论,需要根据老年患者的身体素质和肾衰竭的分期以及导致肾衰竭的原发病来决定。如果老年患者身体素质较好,是由急性感染脱水失血或药物损伤等原因造成的肾衰竭,通四川德阳周大姐查出肾囊肿,应该怎么治疗肾囊肿是一种良性疾病,是否需要治疗及怎样治疗,需要结合病人的身体情况囊肿性质并发症等来综合判断。首先其发展过程相对比较缓慢,有些病人虽然囊肿很大,但临床症状不明显,不需要治疗,对年广东人得肾病得多,治疗又比较困难,这是为什么呢?因为喝汤,广东人都喜欢用一些肉类或者是骨头来煲汤,而且一煲就是好几个小时,肉和骨头里的嘌呤和脂肪都被煲出来了,这时候把浓浓的汤喝下去的话,等于喝了很多的嘌呤和脂肪,那么对于肾脏的代晨尿有泡沫正常吗?如果清晨尿液只是有少量的泡沫,没有其他不良的症状,一般属于正常的现象,因为人体经过一晚上睡眠,膀胱内的尿液会浓缩,尿液里的成分导致尿液表面张力不一样,在清晨排尿时会有少量的泡沫尿,肾病不知道该吃些什么,哪些食材性价比高,有益于肾功能?我知道很多病人得了肾病不知道该吃些什么,有哪些食材性价比高,还有益于肾功能呢?以下食材供大家参考参考。蛋清蛋清富含大量优质蛋白质和人体所需的多种维生素和微量元素,低钾低磷又多铁。不两个指标判断肾脏病有多严重,建议收藏怎么判断肾脏病有多严重?肾脏病是有明确的分期的,通常情况下是根据两个指标来进行的。1。是查我们的肾功能,最主要是肌酐这一项。2。一个是尿液的蛋白量。我们会根据这两个指标对它进行分期肾不好的,4个异常经常冒泡,你若也是,当心肾衰竭肾出现问题和其他病不同,不容易被发现,大多数肾病症状较轻的或者不典型的都很容易被忽视掉,而导致有些肾病就在不知不觉中逐渐地加重,就算到了肾衰竭的阶段仍然会没有察觉到,到最后迎来了尿尿检的注意事项有哪些?尿里有泡沫是肾病引起的吗?很多病人跟我交流时,自述平时不喝饮料,大部分时候都喝矿泉水,白开水。但是尿液的味道很重,乏力,看自己的尿液就像是啤酒泡,上面的泡沫就像油冷层一样因此,很多病人会有很多问题。尿泡沫怎