真空系统设计(观察窗密封结构)
真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接,组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些?
3.6观察窗密封结构
在真空应用设备中,一- 般通过观察窗来监视真空容器内部的生产状态(如观测温度、试料状态等)或传输光源。根据密封形式的不同,真空设备的观察窗分为可拆卸连接和不可拆卸连接两种结构形式。前者用于高真空和低真空系统,后者用于超高真空系统。图3.160~图3-162所示为观察窗的两种基本密封结构形式。在图3-161和图3- 162所示的不可拆卸连接密封结构中,可以采用无氧高导铜和玻璃的不匹配封接或者可伐与玻璃的匹配封接结构,两者都能承受300 ~ 450的高温烘烤。在真空度要求不太高的系统中,可用透明的有机玻璃板来代替玻璃板。传播光线的观察窗材料可采用光学玻璃或石英玻璃等。石英玻璃-般用在高温真空炉上,通常为了预防橡胶密封圈产生过热,连接法兰采取水冷却措施,带水冷却结构的观察窗如图3-163所示。在真空镀膜设备中,为了防止被镀材料沉积到观察窗的玻璃片上,可装设挡板或擦拭片,其结构形式如图3-164所示。
图3-160可拆卸高真空观察窗
1-玻璃; 2一压板; 3-密封圈
图3- 161不匹配封接高真空观察窗
1- 玻璃; 2一无氧高导铜; 3-焊缝
图3- 162匹配封接超高真空 观察窗
1-玻璃; 2一可伐; 3- -焊缝
图3-163高温环境应 用的带水冷的观察窗
1-法兰; 2一压盖; 3-密封圈;4一夹垫; 5-玻璃
图3-164带有 擦拭片的观察窗
1-防护玻璃; 2- 承压玻璃;3-弹簧; 4-擦拭片;5-转轴; 6-手柄
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