IT之家2月25日消息据清华大学官网消息,2月25日,清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB)以及德国联邦物理技术研究院(PTB)的合作团队在《自然》(Nature)上发表了题为稳态微聚束原理的实验演示(Experimentaldemonstrationofthemechanismofsteadystatemicrobunching)的研究论文,报告了一种新型粒子加速器光源稳态微聚束(Steadystatemicrobunching,SSMB)的首个原理验证实验。
图1。SSMB原理验证实验示意图(图片来源:《自然》)
图2。SSMB原理验证实验结果(图片来源:《自然》)
基于SSMB原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外(EUV)波段,有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。《自然》评阅人对该研究高度评价,认为展示了一种新的方法论,必将引起粒子加速器和同步辐射领域的兴趣。《自然》相关评论文章写道:该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源同步辐射光源及自由电子激光的特性。SSMB光源未来有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域。
SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源,这是国际社会高度关注清华大学SSMB研究的重要原因。唐传祥告诉记者。
在芯片制造的产业链中,光刻机是必不可少的精密设备,是集成电路芯片制造中最复杂和关键的工艺步骤。光刻机的曝光分辨率与波长直接相关,半个多世纪以来,光刻机光源的波长不断缩小,芯片工业界公认的新一代主流光刻技术是采用波长为13。5纳米光源的EUV(极紫外光源)光刻。EUV光刻机工作相当于用波长只有头发直径一万分之一的极紫外光,在晶圆上雕刻电路,最后将让指甲盖大小的芯片包含上百...
(全文)