IT之家 6 月 10 日消息 据中国科学院网站，近日，中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室提出一种基于虚拟边（Virtual Edge）与双采样率像素化掩模图形（Mask pixelation with two-phase sampling）的快速光学邻近效应修正技术（Optical proximity correction, OPC），仿真结果表明该技术具有较高的修正效率。
　　据介绍，OPC 技术通过调整掩模图形的透过率分布修正光学邻近效应，从而提高成像质量。基于模型的 OPC 技术是实现 90nm 及以下技术节点集成电路制造的关键计算光刻技术之一 。
　　上海光机所科研人员提出的这种基于虚拟边与双采样率像素化掩模图形的快速光学邻近效应修正技术，能够将不同类型的成像失真归结为两种类型的成像异常，即内缩异常与外扩异常。利用不同的成像异常检测模板，依次在掩模图形的边缘和拐角等轮廓偏移判断位置进行局部成像异常检测，确定异常类型及异常区域的范围。根据异常检测位置与异常区域范围，自适应产生虚拟边。通过移动虚拟边调整掩模的局部透过率分布，从而修正局部成像异常。借助修正策略和修正约束，实现高效的局部修正和全局轮廓保真度控制。另外，双采样率像素化掩模充分利用了成像系统的衍射受限属性，在粗采样网格上进行成像计算与异常检测，在精采样网格上进行掩模修正，兼顾了成像计算效率与掩模修正分辨率。利用多种掩模图形进行验证，仿真结果表明该 OPC 技术的修正效率优于常用的基于启发式算法的 OPC 技术。
　　IT之家了解到，相关研究成果发表在Optics Express上。
　　▲基于虚拟边的成像异常修正，（a）外扩异常修正，（b）内缩异常修正 | 图源：中国科学院网站

男子植入人工心脏需每天充电，没有任何不适感每块电池续航68小时IT之家1月14日消息，1月13日，经过一段时间的治疗和康复训练后，山东省首例人工心脏植入患者黄先生在青岛顺利出院。去年12月，青大附院心外科杨苏民主任团队成功为终末期心力衰竭的黄电脑插个U盘就能给基因测序实时查看结果，售价1000美元现在，你也可以像黑客帝国里的Neo一样，查看构成自己和别人的源代码了。方法也非常简单，将体液滴到这样一个大号的U盘上然后连线插进电脑，再配合软件使用，就能近乎实时地查看你的DNA测中国基因测序上游突破首台国产纳米孔基因测序仪即将量产感谢IT之家网友请你积口德的线索投递！IT之家12月13日消息，12月10日，齐碳科技发布了国内首台即将量产的纳米孔基因测序仪QNome3841，以及配套芯片和试剂，并宣布其位于成深度分析2999名中国人基因，中科院发布女娲数据集中国人专属，填补国际研究空白IT之家11月28日消息，遗传变异图谱是研究人群演化史医学遗传学基因型表型关联的基础。此前，大多数全基因组测序相关研究主要集中在欧洲血统人群。已有研究表明，罕见和低频的变异往往特定复星国际董事长新冠mRNA疫苗复必泰审批进展正常IT之家8月25日消息随着全球新冠疫情的加剧，尤其是德尔塔以及拉姆达等变异毒株的蔓延，人类亟需更多疫苗保护。我国内地最常见的新冠疫苗是灭活疫苗，此外还有腺病毒疫苗以及蛋白亚单位疫苗以色列抗新冠新药二期实验数据披露5天内治愈90重症患者IT之家8月10日消息据中国科学院微生物研究，以色列针对新冠病毒的精准药物EXOCD24在希腊已被证明有效。以色列时报报道了这一消息，以色列伊齐罗夫医院教授纳迪尔阿尔伯团队研制的吸中国首次实现低轨宽带通信卫星批产，今年一季度由长征系列火箭发射1月18日消息，近日，银河航天6颗低轨宽带通信卫星已从其自主建设的卫星研发产线下线，完成出厂评审，运抵发射场，将于2022年第一季度由长征二号丙运载火箭发射。2021年年初，银河航研究表明太空飞行会对地球生态环境造成破坏北京时间7月21日消息，身为地球上最富有的人物之一，亚马逊创始人杰夫贝索斯于近日进入了地球亚轨道空间。他由此成为2021年7月第二位进行此类旅行的亿万富翁。此前在7月12日，英国人德高校研发最小电池，可为尘埃大小计算机供电北京时间2月23日消息，德国开姆尼茨理工大学研究团队在先进能源材料期刊发表论文，称开发出了世界上最小的电池，可以为尘埃大小的计算机提供电源。德国开姆尼茨理工大学研究团队开发出可以为SKInnovation宣布将与专家合作开发下一代固态电池，可使电车续航提高60SKInnovation今（16）日宣布，将与美国佐治亚理工学院的SeungwooLee教授合作开发下一代全固态电池。据韩联社报道，全固体电池是将液体形态的电解质转换成固体的电池，上海天文台揭示首张黑洞照片背后的物理起源于疯狂吸积流IT之家1月22日消息，据上海天文台网站，2019年4月10日，事件视界望远镜国际合作组织（EHT）宣布得到了第一张黑洞（M87）照片。这张照片的中心是一个近似圆形的黑暗区域，该区