真空系统设计(电离真空规)
2.6.4电离真空规
2.6.4.1概述
在低压力气体中,气体分子被电离所生成的正离子数通常是与气体分子密度成正比的,利用此关系可制成各种类型的电离真空规。使气体分子电离有各种方法。例如可采用在电场中或在电磁场中被加速的电子去轰击气体分子使其电离,也可采用从放射性物质中放射的具有一定能量的粒子(a粒子或β粒子)去轰击气体分子使其电离等。
在真空测量中,电离真空规是最重要的一种规型。不同类型的电离真空规配合使用能够测量的压力范围,可以从大气压起直至目前所能测量的最低压力。在超高真空和极高真空区域中,电离真空规是最实用的规型。
2.6.4.2圆筒型电离规
如图2-116所示,规管中心热阴极F的电位为零,栅极G的电位Vg为正,收集极C的电位V为负。从F上发射的电子在V的作用下飞向G,越过G趋向C,在G、C之间的排斥场作用下电子逐渐减速,在速度变为零以后,电子返转并飞向G,再超过G趋向F,又在G、F之间的排斥场作用下逐渐减速,在速度变为零以后,电子再一次返转并飞向G。在这样的往返运动中,电子不断地与气体分子碰撞,把能量传递给气体分子,使气体分子电离,最后被栅极捕获。在G、C空间产生的正离子被收集极C接受形成离子流。离子流与气体压力p的关系如下:
式中,K为规管常数,Pa-1;I+为离子流,IeA;为电子流,A。
图2-116圆筒型电离规原理图
F一阴极;C一收集极;G栅极
由于各种气体的电离电位Vi是不同的(表2-30),所以电离规的常数K与气体种类有关。电离规的相对常数R被定义为:
式中,K为电离 规 对某种气体的常数,Pa-1;Kn2为电离 规 对氮气的常数,Pa-1
表2-30气体电离电位Vi