光刻工艺需要将图案转移到晶圆的每一层。光线通过掩膜（待印图案的蓝图）投射，并通过多个光学器件聚焦到涂有光刻胶的晶圆表面。
　　在过去几十年里，大气压力条件下的深紫外 (DUV) 技术广泛使用，光的波长为 193 纳米。然而，当需要实现更小的临界尺寸时，由于需要的光波长更短，这种技术就达到了极限：为了处理小于 10 纳米的节点，一种名为 EUV（极紫外线）的新技术应运而生。
　　它是如何工作的？
　　EUV 技术的开发历时 20 余年，而 EUV 设备也是有史以来最复杂的机器类别之一（例如，这类系统内有超过 10 万个零部件）。简而言之，在 EUV 光源腔中，通过高功率激光脉冲（每秒 50,000 次）击中锡滴而产生等离子体。这种等离子体会发射波长为 13.5 纳米的 EUV 光。然后，EUV 光被引导并聚焦到反射掩模上，最后通过连续的多层反射镜照射到晶圆上。由于任何物质都会吸收 EUV 光，因此这一流程需要在真空环境下进行。
　　真空需求
　　在 EUV 光源腔中，需要用大氢气流来保护 EUV 收集镜避免产生锡沉积。为此可使用具有高氢气抽吸能力的初级干式泵维持所需的压力水平。EUV 光线通过扫描室传输到晶圆，此过程依靠涡轮泵来保持极低的工作压力。
　　产品组合
　　要满足这种颇具挑战性的要求，普发真空拥有正确的技术。我们兼具高容量和高流量的 ADH 系列干式泵具有市场上最高的氢气抽吸能力，搭配我们最新的高容量 HiLobe 罗茨风机，便成为完美的选择。
　　对于二次真空要求，我们的解决方案是无振动和高氢气容量的 HiPace 和 ATH M 涡轮泵。此外，这些设备只能在最严格的密封条件下运行，这一点可通过我们的高性能氦气检漏仪得到保证。
　　除了 EUV 系统本身，还有数百种零部件需要在真空环境下开发或制造：普发真空是全球主要真空供应商之一，为整个 EUV 生态系统提供解决方案：从小型风冷干式泵 ACP 系列到高容量涡轮泵、DigiLine 真空计和真空元件，普发真空为光刻应用提供了一套完整的真空解决方案。

地球有多美，人类可能就有多恶2021年全球各地都出现了罕见的高温炙热天气，人们被热死的惨剧每天都在不断上演。据悉，科威特的最高温度甚至达到73，再度刷新全球的高温纪录，汽车外壳甚至都被烤化，而且预计科威特的高99的人类不知道的宇宙冷知识！地球为什么会转圈？众所周知，人类之于宇宙，就仿佛沙粒之于地球，实在是不值一提，然而，人类对于茫茫宇宙，却始终充满好奇。接下来，我就揭秘几条大部分地球人都不知道的宇宙冷知识。地球为什么会旋转？地球旋转攻克柏林此战过后纳粹德国无条件投降柏林战役攻克柏林1945年4月16日1945年5月柏林战役是第二次世界大战欧洲战场的最后一场重大战役。此战过后纳粹德国无条件投降，欧洲战场的战事结束。柏林战役结束之后的勃兰登堡门1华为出招！MateX2内功深厚，实力定义折叠屏行业标准华为最新发布的新一代折叠屏旗舰华为MateX2，该机定位旗舰，和华为MateXs不同，采用的是全新的双旋水滴铰链设计和双楔形一体设计，同时在交互生态上进行了再次突破，配合麒麟900在小县城跑滴滴，赚的不多却比同行心态好！这师傅的三观让人佩服大四学校放假，从郑州坐高铁回老家。下了高铁打滴滴回老家，司机是个50岁的大叔，看起来非常慈祥，于是便主动和师傅交谈起来。师傅以前跑大货车，年纪大了跑不动，两个月前开始在滴滴做起快车腾讯眼红拼多多？网友小鹅拼拼就是铁证不知什么时候起，人们对拼多多的看法发生了转变，从之前的廉价品变成了物美价廉，这也让拼多多市值大增，让多家公司眼红。腾讯就看中了拼多多的经营模式，于是也开发出了类似的APP，并且还利奇妙的宇宙冷知识大集合！3000年才能数完银河系的星星？相信很多人都喜欢在夏日晴朗的夜晚，仰望天空，数不清的星星让人的心情瞬间开阔许多。那么你知道吗？银河系的星星我们可真的数不完。一起来看看，这些宇宙冷知识知道几个吧！照天文学家计算，我会梳头的机器人？护理行业也被机器人攻占？我们对于机器人总有一些复杂的情绪，一方面十分好奇其究竟能做到什么事情，另一方面又对其智能的迅速增长感到担忧。但不管怎么说，机器人作为新时代的科技发展方向，仍然还在快速发展。最近，一NFCX轴线性马达，这是千元机可以拥有的吗？了解手机的朋友，应该对NFC功能和X轴线性马达都不陌生，因为市面上大部分的旗舰机都配备了这2大功能，如果缺少了NFC或者X轴线性马达的话，也就减配实锤了。也就是说，在千元机中，能够到底要不要裸辞？听到朋友裸辞，我的第一反应是为什不找到工作后再辞职？裸辞有风险！确实，裸辞可能会面临短时间内找不到合适的工作，继而产生焦虑情绪。但换位思考一下，我又觉得是可以理解的，可能我们是同一蓝色起源抗议被美政府驳回，称SpaceX合同合法近日，美国政府问责办公室GAO驳回了蓝色起源的抗议，称美国与航宇对于仅授予SpaceX的月球载人着陆器合同符合相关法规。GAO认为，NASA决定只讲合同授予一家公司的做法，并没有违