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打破美国垄断,华中科技大学团队研发全国首款OPC软件,强势助

  OPC软件,即光学邻近校正软件,是芯片设计工具EDA的一种,没有它,即使用了光刻机,也造不出芯片。近日,华中科技大学刘世元教授团队成功研发全国首款完全自主可控的OPC软件,填补了国内空白。湖北卫视对此进行了报道。
  光刻成像原理图
  刘世元介绍,光刻是芯片制造中最为关键的一种工艺,通过光刻成像系统,将设计好的图形转移到硅片上。随着芯片尺寸不断缩小,硅片上的曝光图形会产生畸变。在90nm甚至180nm以下芯片的光刻制造前,都必须采用一类名为OPC(光学临近校正)的算法软件进行优化。没有OPC,所有IC制造厂商将失去将芯片设计转化为芯片产品的能力。
  目前,全球OPC工具软件市场完全由Synopsys、Mentor、ASMLBrion等三家美国公司垄断。
  刘世元教授
  刘世元是华中科技大学光学与电子信息学院、机械科学与工程学院双聘教授,担任华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任,同时也是光谷实验室集成电路测量检测技术创新中心主任。他早年师从著名机械学家杨叔子院士,于1998年获工学博士学位。
  2002年,从英国访学归国后不久,刘世元在学院派遣下,作为最早的几个技术骨干之一,加盟上海微电子装备有限(SMEE),承担国家863重大专项100nm光刻机研制任务,为总体组成员、控制学科负责人。通过3年多的奋斗,他组建了SMEE第一个控制工程实验室,解决了扫描投影光刻机中掩模台、工件台、曝光剂量等同步控制的技术难题。
  计算光刻OPC原理图
  20年前参加国家的重大专项,100纳米分辨率光刻机的研制,回到学校以后就一直在从事计算光刻这方面的研究工作,坚持做基础的研究,做关键技术的攻关。如今,刘世元专注集成电路计算光刻的基础研究已有20余年。刘世元和团队坚持最底层的代码一行行敲、最基础的公式一个个算,终于打造出自主可控的OPC软件算法。目前,企业正在做集成与测试,并到芯片生产厂商进行验证,孵化企业的武汉光电工研院也将提供技术转化服务。
  从基础研究到产业化应用,我们团队整整走了十年。十年磨一剑,就是要解决芯片从设计到制造的卡脖子问题。刘世元表示,希望自己的研究成果能够最终转化成产品,为国家和社会发展作贡献。今后,他将带领团队加快产品推广步伐,加快进入国内外芯片制造厂商市场,力争成为全球芯片产业链中重要的一环。
  刘世元,华中科技大学光学与电子信息学院、机械科学与工程学院双聘教授,博士生导师;华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任,湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心主任,武汉光电国家研究中心、数字制造装备与技术国家重点实验室学术带头人。研制的仪器、软件、测量装备等多项成果已实现成果转化和产业化,在中芯国际、长江存储、华为、京东方、华星光电等微电子、光电子龙头企业获得批量应用。
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  素材来源:华中科技大学光学与电子信息学院、华中科技大学机械科学与工程学院、长江云、武汉市高新技术产业协会、凤凰网、光电汇OESHOW

春节坚守岗位多地快递公司开展不打烊行动来源人民网人民网北京1月17日电(王绍绍)近日,人力资源和社会保障部等12部委发布关于开展2023年春节期间春暖农民工服务行动的通知,要求切实做好春节期间农民工关怀慰问出行服务健康首次发现,1910年的广西桂林,山水风韵古色古香的千年榕城这是一组拍摄于1910年左右的广西桂林的绝版老照片,照片来源于1910年左右出版的一本摄影集。这本摄影集是当年的商务印书馆根据那个时代的摄影人拍摄的晚清各地名胜古迹的照片,结集出版东汉时期,王朝整体的边疆战略与思想政治的影响体现在哪些方面?南边战略的轻视与诸民族的汉化东汉时期,王朝整体的边疆战略与思想政治的影响体现在哪些方面?首先,在回答这个问题前,我们需要知道,东汉王朝继承了西汉对南部边疆的经略成果,并在此之上有所研究发现就算太阳突然熄灭,太阳系内仍有微弱光源存在常识告诉我们太阳是太阳系内唯一的光源,其他所有能被看见的太阳系天体,都是靠反射太阳光才变得可见的。因此如果太阳突然熄灭,以光速消失的太阳光将会让水星最先熄灭,然后是金星,然后是月球开发人员表示,PSVR2不太可能在PC上运行一些VR粉丝想在PC上使用他们的PSVR2头显。但根据开发人员的说法,这种情况不太可能。上周日,一位YouTube用户称,索尼PSVR2头显可能会在PC上使用。这对PCVR用户来说Netty线程模型源码剖析(文章尾附带全流程图)Netty服务端设置参数首先创建bossGroup和workerGroup(Netty客户端和服务端启动源码在上篇文章中),bossGroup只是处理客户端连接请求,真正和客户端业这里最低气温52!边防战士穿冰爪过陡坡长白山之巅的天池哨所海拔超2600米是东北地区海拔最高的哨所北部战区陆军某边防旅的官兵坚守在这里春节前夕记者跟随官兵们一起踏上巡逻路冰面挖坑,翻过陡坡一路踏着冰雪前行天池哨所担负3让人工智能负责区块链治理和可审计性szhzxw。cncxounion。org在过去的几年里,人们对人工智能(AI)产生了很多担忧,因为商界人士和技术专家都担心他们认为这些系统拥有巨大的决策能力。作为一名数据科学家,脐带绕颈不可怕,听信迷信才吓人!通常孕妈妈做B超检查时,发现B超单上报告中描述有以下几种中的其中之一,比如颈部皮肤可见U型压迹颈部皮肤可见W型压迹颈部皮肤可见锯齿状压迹。这是什么意思呢?U型压迹提示脐带绕颈一周,孕期缺铁性贫血怎么补?很简单,看看你就知道了在人体中,铁是一种非常重要的微量元素,但是却有很多女性朋友在怀孕期间因为缺铁而导致缺铁性贫血的发生。如果孕妇长期处于这种状态,就会严重影响母婴的健康。因此,在孕期应重视缺铁性贫血的宝爸宝妈们,有了娃,夫妻生活就该这么过?(全文约1300字,阅读约4分钟)天下妈妈都一样,走哪都要把孩子带在身边才放心。尤其是晚上,万一孩子饿了,给吓醒了,半夜醒来怎么办?必须抱在身边睡在一起才心安。但是自己与伴侣之间的
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