中企的光刻机还没到货！ASML停止出口，中国3年后或可掌握技术

　　在全球缺芯的背景下，芯片国产化显得尤为重要，然而芯片虽小，制造难度却很大，芯片制造过程中一个关键机器——光刻机的缺乏，更是令我国高端芯片的制作成为一大难题。但近日，全球光刻机龙头企业——荷兰阿斯麦（ASML）却透露出对中国光刻机制造的＂信心＂。
　　林毅夫：若ASML停止出口，中国3年后就可掌握技术！
　　据媒体报道，在2021年中国企业未来发展论坛上，著名经济学家林毅夫表示，ASML首席执行官十分担忧，若因美国的出口新规而停止对华出口光刻机，大概3年后，中国自己就会掌握这个技术；同时，林毅夫还表示，按照以往的经验，只要中国掌握了技术，在成本优势下，ASML的产品很可能会被中国产品＂抢走市场＂。
　　据悉，AMSL＂垄断＂的光刻机主要有两种，一是深紫外线光刻机（DUV光刻机），已可用于生产7nm及以上制程芯片；二是极紫外线光刻机（EUV光刻机），可用于生产7nm以下制程芯片。按照美国的出口新规，ASML禁止对华出口的为EUV光刻机。
　　事实上，早在2018年初，中芯国际就曾以1.2亿美元（约合人民币7.6亿元）的价格向ASML订购一台EUV光刻机，按照订购协议，这台EUV本该2019年完成交付、2020年完成安装，但由于种种因素阻碍，这台EUV光刻机至今仍未到货。
　　不过，ASML与中芯国际的交易也并未因此停止——今年3月，双方再次签订一份价值约12亿美元（约合人民币76亿元）的采购协议。另外，按照ASML的财报，2020年阿斯麦对华出口超过700台光刻机，该公司在华的销售占比已同比增加6%，至18%。
　　按照ASML全球副总裁沈波的话，中国市场已成为公司的重要收入来源，公司对向中国出口光刻机也持开放态度。
　　光刻机国产化加速：中企一年卖出60台，＂国家队＂也下场了！
　　回归到我国自研光刻机上，虽然＂3年后就可掌握＂并未得到大多数专家的认可，但我国光刻机研制正不断进步却是事实。以企业为例，我国目前仅有的一家光刻机制造商——上海微电子已取得了不俗的成绩，2020年，该公司一共卖出60台光刻机，占据中国80%的市场。
　　事实上，我国一直对光刻机行业十分重要，在政策上也有规划及优待。最为突出的就是《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目（02专项），该专项组织了一批国内光刻机企业进行了一系列重点工艺和技术的攻关，大大推动了我国光刻机行业的发展。
　　另外，2020年＂国家队＂的下场，也使得人们对光刻机国产化充满信心。2020年6月，中科院正式宣布，将对包括光刻机在内的关键核心技术、核心材料进行布局，集中全院力量来攻克这些目前最受关注的重点技术。
　　值得一提的是，中国成为全球最大的半导体设备市场，也是光刻机国产化的一大助力。数据显示，2020年，中国大陆半导体设备销售额达187.2亿美元（约合人民币1191亿元），同比大增39%，位列世界第一。
　　文 | 李银苏 题 | 曾云梓 图 | 卢文祥 审 | 曾云梓