IT之家 6 月 10 日消息 据中国科学院网站，近日，中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室提出一种基于虚拟边（Virtual Edge）与双采样率像素化掩模图形（Mask pixelation with two-phase sampling）的快速光学邻近效应修正技术（Optical proximity correction, OPC），仿真结果表明该技术具有较高的修正效率。
　　据介绍，OPC 技术通过调整掩模图形的透过率分布修正光学邻近效应，从而提高成像质量。基于模型的 OPC 技术是实现 90nm 及以下技术节点集成电路制造的关键计算光刻技术之一 。
　　上海光机所科研人员提出的这种基于虚拟边与双采样率像素化掩模图形的快速光学邻近效应修正技术，能够将不同类型的成像失真归结为两种类型的成像异常，即内缩异常与外扩异常。利用不同的成像异常检测模板，依次在掩模图形的边缘和拐角等轮廓偏移判断位置进行局部成像异常检测，确定异常类型及异常区域的范围。根据异常检测位置与异常区域范围，自适应产生虚拟边。通过移动虚拟边调整掩模的局部透过率分布，从而修正局部成像异常。借助修正策略和修正约束，实现高效的局部修正和全局轮廓保真度控制。另外，双采样率像素化掩模充分利用了成像系统的衍射受限属性，在粗采样网格上进行成像计算与异常检测，在精采样网格上进行掩模修正，兼顾了成像计算效率与掩模修正分辨率。利用多种掩模图形进行验证，仿真结果表明该 OPC 技术的修正效率优于常用的基于启发式算法的 OPC 技术。
　　IT之家了解到，相关研究成果发表在Optics Express上。
　　▲基于虚拟边的成像异常修正，（a）外扩异常修正，（b）内缩异常修正 | 图源：中国科学院网站

在纳米尺度上捕获和利用光的新的基本极限来自南安普顿大学和苏黎世联邦理工学院的物理学家们在纳米尺度上达到了光物质耦合的一个新门槛。这项国际研究最近发表在自然光子学上，它结合了理论和实验发现，确定了我们限制和利用光的能力的700年的南极烟尘揭示了人类活动对环境的影响据外媒CNET报道，人们通常认为，随着18世纪工业时代的到来，人类开始对全球环境和气候产生重大影响，但新研究表明，更古老的世界并不像我们认为的那样没有被影响。科学家们在分析南极洲的毅力号拍摄火星照片显示可能存在外星生命迹象的区域据外媒CNET报道，美国宇航局（NASA）的ldquo毅力号rdquo火星车可能很快就会有一些新的检查点需要探索。地质学家称，在ldquo毅力号rdquo漫游车驻扎的杰泽罗陨石坑附NASA和欧洲航天局正在研究火星样本带回地球的任务美国宇航局和欧洲航天局（ESA）正在研究火星样本返回任务，该任务将获取由火星毅力号探测器收集并储存在密封管中的火星岩石和其他材料样本，并将密封管送回地球。根据目前的构想，美国宇航局研究DNA正在成为世界上最微小的硬盘据外媒报道，我们的遗传密码在存储数据方面的效率比现有的解决方案高几百万倍，而现有的解决方案成本非常高且使用大量的能源和空间。事实上，我们可以摆脱硬盘，在几百磅的DNA中储存地球上所预测地球附近的稀有小行星可能成为太空采矿的目标据外媒CNET报道，科学家们刚刚计算出，漂浮在地球附近的两个金属小行星中的一个可能含有价值约11。65万亿美元的贵金属。事实上，该小行星中所拥有的铁镍和钴可能比地球金属储备的总量还研究员用温室气体制造燃料未来有望在火星开展生产辛辛那提大学的工程师们已经开发出一种利用温室气体制造燃料的方法。这个过程有可能在地球上和火星上都能创造出燃料。如果这个过程能够得到完善，它可能被证明正是美国国家航空航天局所需要的，40多年来的首批月球样本可能改变月球历史据外媒CNET报道，2020年年底，中国嫦娥五号月球探测器携带月球样本返回地球，这些珍贵的月球岩石刚刚揭示了关于月球的一个新细节月球上的火山活动可能一直延续到20亿年前，而且很活跃神舟十三号载人飞船近期择机发射女航天员要驻留6个月北京时间2021年10月7日，神舟十三号载人飞船长征二号F遥十三运载火箭组合体转运至发射区。目前，发射场设施设备状态良好，后续将按计划开展发射前的各项功能检查联合测试等工作，近期择气候危机对个人和社会产生的焦虑水平正在不断增长据外媒报道，气候危机正在对儿童和年轻人的心理健康造成越来越大的伤害领导人必须现在就采取行动，创造一条通往更快乐和更健康的未来的道路。专家们于今日（当地时间2021年10月6日）在B研究揭示运动如何直接减缓肿瘤细胞的生长据外媒NewAtlas报道，澳大利亚伊迪斯middot科文大学的研究人员进行了一项小而有力的研究，发现了运动有助于抑制癌症生长的一种方式。该研究发现运动能诱导肌肉释放一种蛋白质，从