这几年中，台积电超越了  Intel   、三星等对手，一跃成为半导体制造行业的大哥。但台积电的崛起过程也不是一帆风顺的，因为  20   年前  Intel   等公司如日中天的时候，一度将台积电排除在先进工艺之外。
　　前台积电研发副总林本坚日前提到了这段往事，他指出  2002   年左右，  Intel   拉拢摩托罗拉、  AMD   等公司成立了  EUV LCC   联盟，一起出钱出力研发  EUV   光刻设备，希望用于未来的  60nm   、  40nm   等工艺。
　　当时台积电也希望参与  EUV   联盟，但是被排挤，因为只限于  6   家公司，最终  IBM   抢到最后一个位置，台积电无缘。
　　虽然台积电没有加入  EUV   联盟，但是他们转而研究了沉浸式光刻技术（光刻工艺与折射率相关，水中的折射率比空气要高，有利于提高光刻分辨率），最终实现了翻身。
　　【来源：快科技】【作者：宪瑞】

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