近日，英特尔宣布向荷兰光刻机制造商ASML预订了一台仍在设计中的顶级EUV光刻机，为业界首家。这台光刻机型号为High-NA量产型EUV光刻机EXE:5200，是业界最强的光刻机。
　　据悉，由于台积电、三星、英特尔三大巨头在晶圆制造领域的竞争，导致EUV光刻机需求大增。同时，这款瞄准下一代3nm/2nm级别工艺的High-NA量产型EUV光刻机，堪称天价。
　　台湾媒体消息称，英特尔预定的这台光刻机，价格达到3.4亿美元，是历史上最昂贵的光刻机。
　　【来源：C114通信网】【作者：南山】

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