IT之家11月3日消息，昨日，中微公司宣布，电容耦合高能等离子体（CCP）刻蚀设备第1500个反应台顺利付运国内一家半导体制造商。本次交付的PrimoDRIE刻蚀设备反应台来自该客户的重复订单。
　　图源：中微公司
　　IT之家了解到，中微公司表示，PrimoDRIE刻蚀设备被芯片制造商用于制造存储和逻辑器件。为优化产量而设计，PrimoDRIE可以配置多达三个双反应台反应腔，每个反应腔既可以独立操作，又可以同时加工两片晶圆。
　　自2007年PrimoDRIE发布以来，中微公司陆续拓展了CCP刻蚀设备产品线。CCP刻蚀设备系列还包括双反应台刻蚀设备PrimoADRIE、单反应台刻蚀设备PrimoSSCADRIE、PrimoHDRIE和刻蚀及除胶一体化的PrimoiDEA。
　　据介绍，这些产品用于5纳米及以下工艺的多种应用。中微公司的刻蚀设备产品线还包括其他两款电感耦合低能等离子体（ICP）刻蚀设备和硅通孔（TSV）刻蚀设备。

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