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西安交大团队超临界流体低温退火工艺研究成果在IEDM发表,有效制备高性能SiCMOSFET器件

  为解决 SiC MOSFET 栅氧层界面质量差导致沟道迁移率低,使得沟道开态电阻过高,能源转换效率严重受限的技术瓶颈问题。西安交通大学微电子学院耿莉教授、刘卫华教授团队与西安电子科技大学郝跃院士共同合作,提出一种使用低温超临界二氧化碳 (SCCO2) 或超临界一氧化二氮 (SCN2O) 流体的低温退火工艺,以提高 4H-SiC MOSFET 中 4H-SiC / SiO2 界面的质量。
  该研究成果不仅实现高质量的 SiO2 / SiC 界面、高的沟道迁移率和介电可靠性;同时,提出的高效低温退火工艺与标准 SiC MOSFET 制造工艺兼容,为制备高性能 SiC MOSFET 器件提供了新的有效方法,方便用于商用器件的制备。
  近日,上述研究成果论文在第 67 届电气电子工程师学会(IEEE)国际电子器件会议(IEDM)上发表,论文题目为:"超临界流体低温退火工艺实现高性能"。王梦华学生是第一作者,杨明超老师是第二作者,刘卫华教授、耿莉教授和郝跃院士是论文的通讯作者,西安交通大学为第一单位和通讯单位。该工作获得了国家重点研发计划、国家自然科学基金、西安交通大学基本科研业务费的支持。

我国研制亚洲最大70米口径全可动天线交付,用于天问一号火星探测任务IT之家2月3日消息根据微博央视新闻消息,我国自主研制的70米口径全可动天线于今日完成验收,将投入使用。这是目前亚洲最大的单口径天线,将用于我国火星探测任务,负责接收天问一号回传数嫦娥五号成功发射有何重大意义北京时间11月24日消息,今天凌晨4时30分,长征五号遥五运载火箭成功在中国文昌航天发射场发射探月工程嫦娥五号探测器,火箭飞行约2200秒后,顺利将探测器送入预定轨道,开启我国首次美国毅力号太空探索指南寻找火星潜在的生命迹象北京时间7月30日19点50分,美国宇航局将发射毅力号火星探测器,这无疑是人类探索火星一个激动人心的新时刻!以下是关于毅力号探测器的详细档案,以及为什么它是迄今为止在火星探索生命迹破世界记录交大2。0超算系统实现天文学N体模拟粒子数新突破3月17日消息,近日,上海交通大学2。0超算系统实现天文学N体模拟粒子数新突破,打破世界记录。上海交通大学网络信息中心天文系联合厦门大学天文系等单位,依托交大超算平台(2。0集群)世界里程碑性能最高,全球首台512QV量子计算机H1发布近日,霍尼韦尔量子解决方案公司宣布,其推出的量子计算系统再次刷新了量子计算机性能,取得量子计算方面又一里程碑。其系统模型H1的量子体积翻了两番,达到512量子体积,成为全球首台51一箭64星SpaceX将在周一首次发射三手火箭北京时间12月3日消息,美国当地时间周一,美国太空探索技术公司(SpaceX)将使用一枚已用过两次的猎鹰9号火箭从南加州将64颗小型卫星送入轨道。从多个方面来说,这都是一次开创性的摩根士丹利SpaceX领头,2019年将成太空年北京时间11月29日早间消息,许多华尔街投行都发布了2019年的市场预期,而摩根士丹利还增加了对航天工业的展望。摩根士丹利分析师亚当乔纳斯(AdamJonas)在周三发布的研报中表马斯克SpaceX火星聚居地绝非富人避难所11月26日消息,据Gizmodo报道,随着火星殖民越来越接近成为现实,许多人认为,能够买得起前往火星门票可能是社会上最富有的人才能享受的奢侈。亿万富翁埃隆马斯克(ElonMuskSpaceX升级回收船新增停机坪,能送宇航员去医院11月23日消息,据TheVerge报道,美国连续创业家伊隆马斯克(ElonMusk)旗下火箭公司SpaceX最近升级了一艘回收船,船员们刚刚对其进行了测试,以演练在宇航员返回地球未来的火星探索在火星呼吸15秒会失去意识甚至死亡未来的火星是怎样的呢?美国火星学会主席罗伯特祖布林(RobertZubrin)称,火星是一个非常奇妙的世界,拥有令人叹为观止的风景,拥有珠穆朗玛峰3倍高度的壮观山脉,拥有比美国大峡天问一号副总设计师想给火星车起名叫哪吒IT之家2月15日消息今年1月,我国首辆火星车全球征名活动完成了初次评审。经过评审委员会的初步评审,遴选出弘毅麒麟哪吒赤兔祝融求索风火轮追梦天行星火共10个名称,作为我国首辆火星车
在不施加外部磁场的情况下将一种材料磁化研究人员提出了一种在不应用外部磁场的情况下使材料磁化的方法。该研究表明,这种现象可以通过绝热压缩的方式产生,而不需要与环境进行任何热交换。该过程使材料颗粒的自旋对齐并使系统磁化。巴NASA洞察号登陆器的地震观测揭示了火星的内部情况根据最新发表的三项研究,来自美国宇航局(NASA)的ldquo洞察号rdquo(InSight)登陆器的首次直接地震观测为火星的组成提供了线索。这些研究中的研究人员报告了ldquo对鲸类动物的研究揭示其是如何发展出头顶吹气孔的当涉及到生活在水生世界的生物时,它们中的大多数可以利用鳃直接从水中提取它们生存所需的氧气。然而,一些明显的例外情况存在于哺乳动物,如鲸鱼和海豚,它们必须像人类一样呼吸空气。华盛顿大欧空局VLT研究围绕遥远恒星运行的岩质系外行星天文学家们一直在使用欧洲南方天文台的甚大望远镜(VLT)来观测围绕一颗名为L9859的遥远恒星运行的系外行星。天文学家观察L9859系统是因为它和它的系外行星与内太阳系中的行星相似天文学家对小行星表面温度进行最高分辨率的测量智利的一个天文台已经成功地从地球上获得了对小行星表面温度的最高分辨率测量值。他们测量的小行星是Psyche,它是美国宇航局即将进行的一项任务的目标,并计划发射探测器在2026年造访科学家研究发现清洁室内空气可以使我们更健康更聪明约瑟夫艾伦在哈佛大学负责一个重要的公共卫生研究项目,探究室内空气质量如何影响人类健康和认知。他为公司提供通风和空气过滤方面的咨询,在新冠疫情大流行期间,他成为公共卫生方面的知名人士马斯克展示完全堆叠的SpaceX星际飞船和超重型火箭据外媒CNET报道,随着ldquo完全堆叠的星际飞船rdquo的实现,SpaceX创始人埃隆middot马斯克(ElonMusk)正在看到他对未来的愿景成为现实。周五,马斯克分享了考古学家在河南发现世界上最古老的铸币厂据外媒报道,考古学家一直在河南省的一个地区工作。他们一直在挖掘一个叫关庄的古城遗址,他们发现了世界上最古老的铸币厂。在该遗址中发现的铲形铜币是在2600年前大量生产的。参与该项目的天文学家发现黑洞周围不寻常的巨大光环据外媒报道,天文学家在一个带有伴星的黑洞周围发现了一组不寻常的X射线环。这些环是由光的ldquo回波rdquo产生的,这种现象类似于地球上声波在坚硬表面上反弹的回声。这些光环提供了NASA宇航员分享对国际空间站上的蜘蛛做出的反应据外媒报道,国际空间站(ISS)上已经出现了一些不寻常的景象一件大猩猩戏服扁虫尤达。但蜘蛛在ISS自由漂浮的景象会出现吗?不会,这样的场景只存在宇航员的想象中。NASAISS现任成未来心脏起搏器可以从心脏收集动能而不需要电池据上海交通大学的研究人员表示,未来的心脏起搏器可能由心脏本身提供动力。在2021年8月46日举行的能量存储和转换虚拟会议上,来自上海交通大学的YiZhiran将介绍关于无电池心脏起