光刻机核心部件仅ASML掌握,如今中国企业突破技术封锁
如果给现代科技进行一个排名的话,那么光刻机绝对是榜上有名。光刻机几乎是目前人类科技所能达到的最高水准了,这可不是我夸大其词,而是因为一部光刻机当中高达100000的零件,其组装难度是非常高的,而相比之下,汽车也才两三万的零件数量。
光刻机是制造芯片的顶级设备,核心技术主要在于"极紫外光源,光学镜头和双工作台"这三个方面,100,000个零件和3,000多个电路,其制造难度可想而知。没有任何一个国家能够单独制造出光刻机来,即便是荷兰的ASML集团,使用的也是美国的极紫外光源,日本和德国的光学设备以及瑞典的轴承零件。
而中国的上海微电子交付28纳米光刻机已经是我国目前能够达到的最高水准的技术了。美国专家:光刻机核心部件仅ASML掌握,然而中国民企用4年时间攻克!中国光刻机本地化的道路从未停止过,但是我们想要自己掌握光刻机核心技术无疑还需要很多的年头。
然而,光刻机技术短时间内无法突破,但是光刻机的三项核心技术上,我们却是已经取得了突破。极紫外光源技术早已成为国家科技重大专项,其中极紫外光刻机关键技术研究已通过验收。而ASML独特的双工件台技术,中国民营企业华卓精科已经突破了纳米级限制,成为世上第二家拥有这项技术的公司。
制作芯片的过程等同于在硅芯片上"画"电路图。双工作台可以使晶片的曝光和测量同时进行,从而大大提高了芯片的生产率和效率。也许大伙可能还不知道,中国早在1970年代就进入了光刻机领域。然而可惜的是,清华大学开发的步进式光刻机由于当时芯片市场不大而没有得到推广。
这也使得中国在光刻机道路上失去了先机,这一失就是十几年的差距。2012年,朱瑜与清华集成电路设备团队的7名成员共同成立了华卓精科。目标是征服光刻机的超精密双级技术。在几年的时间里,华卓精密的双阶段原型机在原始技术积累和国家专项资金的支持下,已经通过了国家重大科技项目的验收。
如今虽然我国的光刻机技术确实是不如荷兰的ASML,但是在几大关键性技术上,我国已经早有突破,我们欠缺的仅仅只是将它们"组装起来"。当然说起来容易,做起来难,我国还需要很长的一段时间才能够在这个领域上面完成突破。
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