当前,在制造芯片的过程中,光刻机、蚀刻机是必不可少的工序,近年来我国在蚀刻机领域进展神速,收获颇丰,蚀刻机设备的国产化率已经接近30%。那么它到底有多先进呢,就连美国都对此垂涎不已? 蚀刻机的作用不可替代,光刻机作用是把设计好的芯片电路图刻在硅片上,接着,蚀刻机雕刻光刻芯片的电路图。在高端芯片的数百亿个晶体管、集成电路的轮廓雕刻过程中,至少需要上千个程序,就是这样一款复杂的设备,我国科研工作者将它给攻克了。 中微半导体是我国蚀刻机领域的代表性企业,也是我国的一块金字门面。2020年,中微半导体的5nm蚀刻机已经打入台积电的5nm生产线,台积电目前制造芯片所使用的就是中微半导体的蚀刻机。足以证明它的强大。 图片为蚀刻机设备 中微半导体创始人尹志尧表示,过去十多年,中微半导体花费了20亿人民币,才发展到现在的境况。从一个十几人的小团队到国际一流的蚀刻机企业,中微历经坎坷,好在柳暗花明。 这种芯片看起来很小,但却承载着巨大的能量,芯片从设计到成品,其中需要使用的设备很多,很多人可能知道生产芯片,光刻机也是重要设备,美国全面制裁华为,封锁了华为的芯片来源,全球有两个国家可以生产高端光刻机,即荷兰和日本,全球可以生产7纳米及以下高端芯片的光刻机被荷兰 ASML垄断,中国也曾向荷兰 ASML购买光刻机,经过多次谈判,最终获得相对落后的 DUV光刻机。 但是在蚀刻机方面美国却奈何不了我国,毕竟尹志尧带领他的团队仅仅花费10年左右时间,就攻下了5nm加工工艺,研发出全球第一台5nm蚀刻机,近日还有媒体报道中微已经成功研制出具有国际先进水准的3nm蚀刻机设备。这几年连美国都来窃取技术甚至乱泼脏水,怎么回事呢? 图片为尹志尧博士 当时,美国维科在设备市场不敌中微,很不服气,所以维科对中微半导体设备的供应商展开了专利侵权诉讼,但是实际上是自己侵犯了中微半导体的发明专利,之后中微想给微科一个教训。我国获悉美方涉嫌侵犯中方特许权的设备即将从上海机场进口,立即向上海海关申请扣留涉嫌侵权货物。这件商品价值3000万元以上,微科损失不小。经过一番争执,维科才正视中微公司的自主研发能力和在中国的知识产权状况,积极与中微公司展开谈判,双方最终达成交叉授权和解协议。 虽然我国在半导体领域是"后起之秀",但具有后发优势,中国再多几个像中微这样靠谱的企业,在科技领域崛起就有望了,下一步就是在国产高端光刻机领域发力!(铖)