芯片制造关键设备再突破!离子注入机实现全谱系产品国产化
芯片一直是智能设备的关键部分,在智能设备中芯片就像一个人的大脑,所以芯片的作用不言而喻。
目前我国在芯片领域还远落后于其他国家,这也是为什么一些国家会用芯片来卡华为的"脖子"。虽然目前在芯片领域存在很大差距。但中国的科学家们一直都在努力去缩小这个差距。当然这需要绕过技术封锁,难度非常大。
但今日传来了一项好消息:中国电子科技集团旗下装备子集团已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素注入至特定半导体材料中以改变材料的电性能,离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
据悉,除此之外中国电科还突破了高性能离子源、高速晶圆传输等"卡脖子"技术,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,累计形成核心发明专利413项,实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展,有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。
虽然差距仍然很大但通过科研人的不断努力定能实现反超,我们一起为科研人加油!
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