芯强才能国强,我国有哪些半导体设备基本是空白的?
现代化、自动化、信息化都离不开一样东西,那就是芯片;从电视、电脑,到航空航天;从汽车到飞机高铁,从通讯到互联网......, 现代生活哪儿都离不开芯片,没有芯片这个世界就太不方便了,足见芯片的重要性。
芯片是由设备加工出来的,所以芯片装备才是芯片加工的核心,才是决定你的芯片制造水平的关键因素之一。
目前我国空白的设备有: 28nm以下的光刻机、 低能/高能大束流注入机、HDP CVD,测试设备等;
尤其是光刻机这一核心设备,荷兰ASML可以实现7nm和5nm的制程,而我国的上海微电子目前只能实现28nm工艺制程,差距不小。
注入机领域,我国的中科信虽然涵盖了中束流离子注入机、大束流离子注入机、高能离子注入机,但还有 低能、超高能等领域 还需突破,而且设备的效率和稳定性还需要太长的路要走。
HDP CVD 我国目前基本是零,沈阳拓荆2021年开始计划启动HDP设备的研发。
还有就是高精尖的测试设备,测试设备是半导体加工过程的"眼睛",这块的短板仅次于光刻机,在膜厚测试、CDSEM、overlay、FIB、TEM等基本见不到国产设备的影子。
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