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中国半导体国产化之路半导体材料之光刻胶

  半导体材料是集成电路制造中的"血液", 目前我国在这一领域处于什么样的地位呢?
  1、光刻胶领域
  光刻胶是光刻的核心材料,关系到图形CD的精度和分辨率,因此非常重要。
  长期以来,光刻胶一直被日本JSR、日本应化、日本信越、美国陶氏化学(收购了罗门哈斯)、日本住友化学等垄断,占据全球90%以上的销售份额。
  我国目前在这一领域的主要有以下几家:
  (1)北京科华微电子
  目前研发和应用到 KrF(248nm) 级别的光刻胶并量产,对于 193nmArF光刻胶和EUV光刻胶还没有突破。
  (2)晶瑞股份
  晶瑞股份控股苏州瑞红,目前已经攻克KrF(248nm) 光刻胶并大量量产, 193nmArF光刻胶研发中,没有EUV光刻胶;
  (3)南大光电
  目前已经攻克KrF(248nm) 光刻胶和 193nmArF光刻胶,没有EUV光刻胶;193nmArF光刻胶刚研发出来,小批量量产中,大批量量产还需要一段时间。
  (4)上海新阳
  刚研发出来KrF(248nm) 光刻胶,还没有量产。没有 193nmArF光刻胶和EUV光刻胶。
  综上,在国内光刻胶领域,南大光电目前处于领先,晶瑞和科华紧随其后。但EUV光刻胶国内还是空白,还有很大的追赶空间。

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