语，用于描述一种用于将材料层沉积到基板上的表面工程处理。涂层的类型包括金属（例如镉、铬、铜、镍、钛）和非金属（例如碳碳、碳碳化硅等的陶瓷基复合材料），沉积在薄层中（即逐个原子）或逐分子）在表面上。
　　气相沉积技术包括通过冷凝、化学反应或转化使材料进入蒸汽状态的过程。当气相由液体或固体源冷凝产生时，该过程称为物理气相沉积（PVD）。当通过化学反应产生时，该过程称为化学气相沉积（CVD）。
　　这些过程通常在真空环境中进行，使用或不使用等离子体（即可以从中提取粒子的电离气体），这会向表面增加动能（而不是热能）并允许降低处理温度。真空环境具有以下优点：
　　降低粒子密度，使碰撞的平均自由程较长
　　降低不需要的原子和分子（污染物）的粒子密度
　　提供低压等离子环境
　　提供一种控制气体和蒸汽成分的方法
　　提供用于控制进入处理室的质量流量的装置。
　　气相沉积工艺仅在表面上增加能量和材料，使物体的大部分保持相对凉爽和不变。因此，表面特性的改变通常不会显着改变基材的底层微观结构。

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