湿法和颗粒去除工艺
引言
本文考虑了范德华相互作用的 2个数量级范围,以考虑了实际粒子的形状和材料,将这些相互作用与静电电荷、阻力、表面张力、冲击波、高加速度和气溶胶粒子所产生的排斥力进行相互比较,可以预测不同清洗过程的内在能力和局限性。已经确定了三种颗粒去除过程——能够去除所有颗粒尺寸和类型的通用过程,甚至来自图案晶片,具有相同理论能力但实际上受到粒子可及性的限制,最后是无法去除所有颗粒尺寸的清洗。
通过计算施加给细颗粒的主要力,在表中可以看出驱动粒子粘附 /去除机制的四个主要参数是静电、范德华、毛细管和阻力。表面张力γ lg是由于介质分子之间的内聚力,并倾向于使界面区域最小化,它代表每单位界面长度的一个力,对于参考球形粒子,当液体完美地润湿颗粒材料,气体 /液体界面作用于整个粒子周长时,得到最大的毛细力 (见图 1):
本文研究了作用于参考刚性粒子和球形粒子的范德华引力与实际粒子之间的区别,实际粒子的非理想性的结果:扁平化、非特定形状、粗糙度、部分嵌入等,最终可以看作是与基底接触的附加平面,理想球与刚性球与实际非理想粒子的差值任意用等于接触表面的分数 f除以同维粒子能够呈现π R2的最大表面表示,结果如图所示 2,粒径为 10~150纳米。可以看出,范德瓦尔斯力随粒子的非理想性而迅速增加,并且可以比理想粒子高出 2个数量级以上,这种效应随着粒径的增大而减小。
颗粒去除机制
本文讨论了常规和前瞻性颗粒清洗过程的理论性能。这种清洗机制包括通过消耗基底、粒子或两者都将粒子与基底分离,直到静电产生的排斥力超过范德瓦尔斯力,这意味着 pH必须在 A或 B区域进行调整,静电力随距离的减小速度慢于范德华相互作用,因此,无论粒子的大小和电荷如何,释放距离始终存在。这种理论蚀刻厚度在实践中通过去除过程的动态行为而增加。事实上,在分离开始时,由于范德瓦尔斯相互作用,蚀刻速度和粒子的再吸引速度之间发生了竞争。
晶片导致了一个非常高的速度的非均匀射流,生成的液滴以 400m/s的速度投射到衬底上。计算表明,当碰撞时,液滴的前部甚至以大约 600m/s[13]的速度加速和撞击粒子,与连续射流不同,这里施加的力是由液滴前部施加于粒子表面的激波产生的。当温度为 3000k,压力为 1000atm时,气泡坍塌过程中释放的能量密度是相当大的,气泡越大,势释放能越高。当气泡靠近表面坍塌时,它会诱导液体微射流向表面,达到每秒数百米的极高速度。这种喷射流会产生非常强烈的局部激波。通过超声发光,在高达 850kHz的超大气体范围内观察到声空化。然而,我们不可能得出这样的结论:由于产生较小气泡而产生的激波也是由同样的射流现象引起的。如图所示 11,声浴中产生的周期性压力波变化倾向于增加。
在实践中,加速度受到可接受的硅通量的限制,导致硅熔化,这个阈值在实验中对应于去除大约 100纳米的第一个氧化铝颗粒(乐观的情况),用方程计算出相应的加速度,在 106g范围内,为了提高激光清洗的去除能力,首先将薄层液体从蒸汽浓缩到基底上,在这项工作中,覆盖 2个数量级的范德华相互作用被认为考虑了实际形状和材料的大多数粒子。这个范围是通过考虑来确定的。哈默克常数的可能变化,以及理想刚性球与具有有限接触面积的实粒子之间的差值、扁平效应等。
不同的粒子去除过程可以根据所使用的物理效应进行分类,如静电、阻力和毛细管力、冲击波、加速度或动能。通过比较吸引的范德华力和由这些效应产生的力,就可以预测不同清洗过程的内在能力和局限性,特别是对于下一代集成电路必须考虑的细粒子。三种粒子去除过程,即通用过程能够去除所有颗粒大小和类型甚至图案晶圆,过程呈现相同的理论能力但实际上受限于粒子的可及性,最后清除不能去除所有的颗粒大小。
朱海秀带着最坚硬的鳞片上战场朱海秀带着最坚硬的鳞片上战场我不想哭,我眼泪在眼睛里打圈,我一哭的话,护目镜就花了,我就干不了事情了。在央视财经第一时间栏目的镜头前,1997年出生的护士小姑娘朱海秀顶着两个大大的
盐吃越多,长得越丑?法国有句俗语美女生在山上,不生在海边。因为生在海边的女人,平时摄入海盐比较多。过度的盐,真的有毁容作用。比如水肿。黄帝内经里说过咸入肾,适当吃咸,可以保护肾脏。但如果摄入过度的盐分
除了多喝水,和女生聊天还可以说什么?感冒发烧了多喝水姨妈造访,腹痛难忍多喝热水心情不好有点郁闷也多喝点水吧不知道从何时起多喝水成为了男生解决各种问题的良方在大部分情况下多喝水对身体确实有作用人体70左右的重量都是水贡
长在笑点上的金靖,她可不止会搞笑肿眼泡单眼皮塌鼻子,丹凤眼媒婆痣大嘴,甚至还带有一丝不羁。她并非大众定义下的美女的女孩却拥有自成一派的美,加上讨喜的性格,让人越看越喜欢。1hr初上春晚的金靖,知晓度还没打开,纪录
薇娅从主播到4000万火箭销售员薇娅从主播到4000万火箭销售员因为她的存在,不少人开始正视女主播这个职业,直观感受到电商直播的强大能量。薇娅是谁?淘宝第一女主播,粉丝1700万,2019年双十一直播销售额超30
万茜剧红人不红,是什么一种体验?从6月10日,V博被整改,热搜被停更之后,不知道小伙伴们是不是和小洁一样,仿佛与世隔绝,再也不能快乐网上冲浪了。就比如,今夏最让人期待的综艺节目乘风破浪的姐姐开播,就感觉V博欠了很
深夜投毒的主播,我要你现在就失业吃播视频大火的背后,其实是1000万个被孤独侵蚀的灵魂,急需陪伴的心声。食物本身就有治愈的功能,但这是建立在尊重身上的,生吞辣吃,只会抹杀了这种功能和意义。希望我们都能尊重食物,好
周迅,不完美的她往往最真实真实几乎是每一个周迅爱好者的必备形容词。周迅往往够真,够纯粹。最近这段时间,周公子可算是微博热搜榜的常客了。尤其是新一季的向往的生活播出后,周迅作为第一期的嘉宾,不管是耿直的性格,
俞飞鸿老男人的照妖镜俞飞鸿老男人的照妖镜今日主题1。明明年纪快到50,为什么她仍然能够收获一批又一批颜粉?2。关于俞飞鸿,我们喜欢的是她的容貌,还是她的精神?我没有大起大落的人生,不是因为我能力有多强
山海情为了一头驴嫁人的西北女人如何逆袭成全村之光想不到2021年的第一部爆款剧来得如此之快。接地气的剧情鲜活有趣的人物大西北的口音豆瓣开分9。1涨到9。4,没想到一部主旋律剧能让人如此着迷。每天跟着追剧,欲罢不能!笑着笑着就哭了
卫生巾的潘多拉魔盒让我对月经贫困有了新的认识先来看一组数据全球有超过4000万女性正在经历月经贫困10的年轻女性买不起月经卫生用品,12的人需要使用不安全不卫生的月经用品。在英国,每10个女孩中就有1个负担不起月经卫生用品,