台积电及其研究合作伙伴日前表示，他们已开发出一种用于晶体管接触电极的材料，该材料将被用于即将到来的1nm制造工艺。
　　每一种新的工艺技术都会带来新的挑战，在这种情况下，关键的挑战是找到正确的晶体管结构和正确的晶体管材料。与此同时，给晶体管带来能量的晶体管触点对晶体管的性能至关重要。半导体工艺技术的进一步小型化增加了接触点的电阻，从而限制了它们的性能。因此，台积电和其他芯片制造商需要找到一种电阻非常低、可以传递大电流、可以用于量产的接触材料。
　　研究公司指出，使用半金属铋作为晶体管的接触电极，可以大大降低电阻，增加电流。台积电目前使用钨互连线（使用选择性钨沉积工艺制造），而英特尔使用钴互连线。两者都有各自的优点，都需要特定的工厂工具。
　　为了使用半金属铋作为晶体管的接触电极，研究人员不得不使用氦离子束（HIB）光刻系统，并设计了一种简单的沉积过程。这种工艺只在研发生产线上使用过，所以还没有完全准备好大规模生产。
　　目前，台积电的1nm节点处于探索模式，台积电正在试验各种选择。

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