紫外激光在微加工应用具有三个明显的优势：
　　紫外激光的聚焦性能好、波长短、光子能量高且具有冷处理等特点，并能激发特定光化学反应，这些特点使得其在光数据存储、光谱分析、光盘控制、等领域具有应用。
　　紫外激光在微加工应用具有三个明显的优势：
　　1。短的波长可以加工小的零部件，光束衍射效应是限制零部件加工小尺寸的一个主要原因，小聚焦点直径随波长呈线性増加；
　　2。能量高的光子可破坏材料分子的化学键，这种过程称为冷处理过程，与可见光激光器和红外激光器利用聚集热量来焰化加工部位的材料相比其热影响区可忽略不计；
　　3、在自然界中大部分材料能吸收紫外光，它的这个特点使得紫外激光能加工很多可见激光和红外激光不能加工的材料。
　　上述三个优势使得紫外激光可以加工塑料制品和薄膜橡胶等脆弱物质

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