其主要技术特征是：在超高真空条件下，分子或原子的热运动平均自由程足够长；源炉中的源材料被加热到适当的高温后，其分子或原子从表面蒸发或升华出来后能不经碰撞而直接喷射到单晶衬底表面；衬底维持在适当温度，使喷射到表面的分子或原子经过吸附、迁移、结合、分解等一系列物理化学反应过程，最终在衬底表面形成高质量的单晶薄膜材料。
　　在超高真空系统中，存放源材料的源炉与用来生长外延薄膜的衬底相对放置；每个源炉前配有挡板，可以放过或切断源材料的喷射束流。源炉中装有组成外延薄膜的各种元素，包括掺杂剂。当他们被分别加热到适当温度时，源材料分子或原子向外喷射形成束流，其强度可以通过改变炉温来调控；多元化合物薄膜的组分及其掺杂浓度主要取决于各源炉束流的相对强度。源炉的温度和挡板开关可由计算机程序精确控制，以保证生长出符合设计要求的超薄层微结构外延材料。衬底保持在适当高的温度，可以使喷射到表面的分子或原子充分迁移，到达适当的晶格位置，提高外延薄膜的质量；同时衬底可绕法向旋转，以提高外延薄膜的均匀性

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