荷兰做出选择!ASML迅速发表声明,中芯国际也正式回应了
之前就传出美日荷三方达成了协议,将对先进芯片制造设备共同实施限制。不过,有点意外的是,三分均未对外发布任何协议消息。于是,就引发了多种不同的猜测。
其中,就有日本方面将倾向于温和的方式实施限制,荷兰方面甚至都不愿意公开提及限制,但我们似乎都低估了三方协议。在日本限制消息透露后,荷兰也做出选择。
荷兰将推出限制新规
如今看来,三方达成协议后没有立即对外公布消息,美方是因为不想激怒日荷,这两方起初应该不太愿意,而日荷两方应该也还要权衡利弊,所以需要时间进行考虑。
之后,日本方面率先透露了实际限制的相关消息,计划于春季修改法令,限制出口制造先进半导体所需的设备。近日,日本相关专家更是直接透露了限制的相关细节。
日本新规将可能限制向中国派遣人力资源,还可以停止对之前售出的产品进行维护。
日本方面实施限制的信息基本明确,荷兰方面会有意外吗?当然不会,近日荷兰方面也传来了限制相关消息,计划对半导体技术出口实施新的限制,以保护国家安全。
消息源于荷兰对外贸易部长给议会的一封信,信中内容显示,荷兰将和美方一起实施先进芯片制造设备的出口管理,预计这一限制措施最快于2023年夏天之前出台。
至此,一切已经尘埃落定,日本方面本来就没有疑问,如今荷兰方面也做出了选择。
ASML迅速发表声明
对于荷兰方面即将推出限制新规,光刻机巨头ASML迅速做出反应,通过官网发布了关于出口限制的相关声明。其中,明确指出了新规主要针对先进的芯片制造技术。
即荷兰新规将限制最先进的沉积和浸没式光刻工具。ASML在声明中着重解释了"最先进"的范围,就是"临界沉浸式", TWINSCAN NXT:2000i和后续的沉浸式系统。
目前,ASML在售的浸没式光刻机主要有三大型号,分别为2050i、2000i和1980Di。
也就是说,如果限制开始实施,将会限制前两种,最后一种型号依然可以出货。这个1980Di的分辨率为小于等于38nm,这只是指单次曝光,多重曝光可支持到7nm。
台积电第一代7nm工艺就是用它实现的,不过成本太高、良率太低,根本不合适。因此,1980Di这款浸没式DUV 光刻机主要用于14nm及以上的成熟制程工艺生产。
ASML明确表示,关注成熟节点的客户可以使用这款,还表示不会对2023年的营收和长期情况产生影响。这意思很明确吧,就是跟大陆市场的中企合作不会受到影响。
中芯国际也正式回应
另外,ASML还提到,如果想要出货最先进的浸没式DUV系统,将需要申请出口许可证,而EUV从2019年就开始受到限制。这意思也很明确,应该很难申请到许可。
对于荷兰即将发布新规,限制浸没式DUV光刻机出货,对我们中企影响最大的应该就是中芯国际了,因为目前大陆地区芯片制造技术最先进的就是它,能够量产14nm。
对此,荷兰新规是否会对中芯国际产生影响,有记者进行询问,中芯国际做出回应。
中芯国际相关工作人员表示,公司目前生产运营正常,目前并未收到相关通知。然而之前消息显示,中芯京城量产时间推迟一到两个季度,原因是因瓶颈机台未交付。
这个瓶颈机台据分析极有可能是光刻机。不过,中芯京城项目面向28nm及以上成熟制程,结合ASML发布的声明来看,使用1980Di这个型号的浸没式DUV就可以。
中芯国际的其他项目也都是28nm及以上成熟制程,因此应该不会受荷兰新规影响。
另外,不只是中芯国际,国内晶圆厂长江存储、华虹半导体等之前购买的都是这款浸没式DUV光刻机,并且ASML还将这款光刻机进行了升级,性能比之前型号更好。
从目前ASML发表的声明情况来看,我们的成熟制程所用的光刻机及售后服务不会受到影响。不过,限制了我们向先进制程发展,看来还得寄希望于国产光刻机突破!
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