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1000台光刻机!ASML再次表态

  前不久,上海公开了集成电路领域的最新成绩。其中,已经实现14nm先进工艺芯片的规模量产,还有90nm光刻机、5nm刻蚀机,以及12英寸大硅片、国产CPU、5G芯片等的突破,令业界备受鼓舞。
  实际上,近年来在芯片领域的快速突破和骄人成绩,正在一步一步改变"卡脖子"的现状,同时也让那些看重中国市场的半导体设备厂商和原材料厂商坐不住了。于是它们都频频表态,承诺将坚定地支持中国半导体市场的发展。
  近日,在ASML媒体开放日上,ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波就再一次表态,该公司仍然坚定地强调中国在全球半导体产业链中的重要性,并坚持加大对中国市场的支持。
  与此相对应的,是ASML正在继续加强驻中国本地的技术支持团队。继去年在北京成立本地维修中心之后,今年再一次扩充了200多人,本地开发中心达到3个,使得ASML中国员工增加到了1500多名,这其中有将近一半是专业的客户服务工程师。此外,ASML还组建了虚拟技术专家团队,通过模拟工具让其全球技术专家得以远程指导本土工程师,进行相对复杂的操作。
  对此,许多网友表示难以理解。在ASML的EUV光刻机自由出货受限,甚至DUV光刻机也可能受到阻挠的情况下,ASML为什么不收缩,反而要加大对中国市场的投入呢?
  首先,当然是巨大的市场利益吸引。
  从30多年前第一台ASML步进式光刻机进入中国市场算起,ASML在全方位光刻解决方案下的总装机量在国内超过1000台。1000台光刻机!以其动则数亿的高价,那就是几千亿甚至上万亿的市场。仅仅是去年一年,中国市场就为ASML贡献了近15%的营收,其重要性不言而喻。
  而且,作为全球半导体需求最旺的地区,国内集成电路产能正在快速增长,对半导体设备需求巨大,这对ASML来说是一次难得的增长机会。
  其次,是国内光刻机自主突破的能力越来越强,进程越来越快,这是ASML这些国外巨头最为担心的。
  ASML的负责人就曾多次警告,限制光刻机出货,只能加速促进中国厂商的突破,或许用不了15年,这里的市场将不再需要ASML了。这并不是危言耸听。
  或许有人怀疑我们的能力,其实最主要还是受市场因素的影响。光刻机市场就这么大,占据全球市场80%的ASML去年也只有220亿美元营收,这并不是一个大市场。而且对于半导体厂商来说,如果能买得到,肯定愿意买更成熟的光刻机产品,因此搞光刻机研发,如果没有市场和客户作为支撑,投入也就难以持续。
  有专家做过统计分析,上海微电子装备做光刻机有近20年,但整个投入可能只有一二十亿,能做出90纳米光刻机已经非常不错了。并且因为缺少市场支持,这家企业实际上一直在亏损。前面提到的90nm工艺光刻机,实际上是早就可以量产了,但是站在客户的角度,它们当然更愿意用采ASML等的成熟光刻机方案。这也是前些年国内光刻机发展缓慢的重要原因之一。
  现在的情况不同了。如果市场被ASML这些巨头让出来,还有上上下下的大力支持,相信会有更多的企业和研发团队,有更多的资源,投入到包括光刻机在内的半导体设备中去。
  接下来,只要有足够的投入,相信我们很快就能取得更多的突破,甚至直接造出类似EUV的光刻机也并非不可能的。这当然是ASML们所不愿意看到的。
  也正因为如此,当某些力量试图通过游说施压等手段,进一步限制ASML光刻机出货,甚至包括DUV光刻机时,第一个出来反对的就是ASML。它们表示这将导致全球半导体产业链的中断,它们知道,这样不仅仅是暂时失去市场,甚至会失去长远发展的机会。
  当然,我们现在也非常需要ASML的光刻机,尤其是DUV光刻机。
  因为目前国内厂商产能扩展最多的,就是28nm、16nm的成熟工艺,主要需求就是DUV光刻机。在目前芯片制造能力还非常弱的情况下,要实现2025年芯片自给率70%的目标,仍然需要快速扩充芯片产能,其中光刻机是芯片生产必不可少的设备,在自主DUV光刻机没有形成量产能力之前,ASML无疑还是最好的选择。

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