来源：中国电科
　　最近，中国电科46所成功研制出拥有自主知识产权的HVPE氧化镓同质外延片，填补国内相关技术空白。目前，HVPE氧化镓同质外延片已在相关器件上实现应用验证。
　　中国电科46所首席专家王英民博士介绍，氧化镓是新型超宽禁带半导体材料，拥有优异的物理化学特性，在微电子与光电子领域均拥有广阔的应用前景。由HVPE法制备的氧化镓同质外延片，具有外延层结晶质量高、电学参数可控特点，可用于超高压功率器件制备，特别是针对垂直结构的肖特基势垒二极管器件，能够提高相关器件的耐压值，大幅度降低功率损耗，使其性能更加优异。
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