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俄罗斯投资6。7亿卢布,开发新型的光刻机,性能或将超越EUV光刻机

  上一篇文章,我们说了,佳能在开发3D光刻机,可以说在叠加芯片方向上,又走出了坚实的一步。那么为什么佳能要朝这个方向努力?只能说ASML在EUV光刻机方面,垄断能力太强了,其他人很难追赶得上,所以只能另辟蹊径,例如通过3D光刻机制造横向纵向叠加的芯片,以此来达到更好的性能。
  俄乌冲突之后,欧美西方国家全方面制裁俄罗斯,在半导体领域自然也是如此,俄罗斯最大的半导体厂商米克朗也被美国制裁。
  据悉,米克朗出口了俄罗斯微电子产品的 50% 以上,它的前身为成立于1964年3月前苏联时期的分子电子研究所。在上世纪七十年代,米克朗是苏联第一个开发和制造大规模集成电路的公司。
  2006年,米克朗获得了欧洲半导体巨头意法半导体的技术转让,从此具备生产0.18μm芯片的能力,后来又在此基础上,于2008年和2009年分别实现130nm和90nm工艺,到了2016年,实现了65nm。目前,米克朗也是唯一一家能量产65nm制程的俄罗斯本土企业。
  其实,俄罗斯的芯片采购量很低,还不到全球总量的1%,但也没能摆脱美国的霸权打击。 所以,俄罗斯决心开始开发光刻机。
  近日,俄罗斯宣布将投资6.7亿卢布,折合成人民币约5100万元,开发新一代的光刻机,并且俄罗斯莫斯科电子技术学院已经承接了该项任务。
  俄罗斯媒体报道称:俄罗斯将研发当前全球最先进的X射线光刻机,或比ASML的EUV光刻机性能更先进。
  看到这个消息,很多人会有2个疑问。 一是这个钱够吗?才5100万。二是真的能超过EUV光刻机吗? 甚至觉得这个消息有点扯。
  大家也别着急。
  首先在钱的问题上,这次的6.7亿卢布是首批资金,后面应该还会有投入。至于花多少钱办多少事儿,或许一家一个样吧,暂时也不好评论。另外,如果钱实在不够,俄罗斯也可以多卖点石油天然气,还可以涨点价再卖,反制这2个东西有的是。
  其次,俄罗斯研发的光刻机,只是计划达到EUV级别,并非EUV光刻机,二者的技术原理完全不同,所有美国和ASML没法限制。
  另外俄罗斯的X射线光刻机是基于同步加速器或等离子体源的无掩模X射线光刻机,甚至在某些地方,要比EUV光刻机好。
  目前,俄罗斯莫斯科电子技术学院与其他科研机构以及科学家团队,在无掩模光刻领域方面取得了进展。同时,还有 泽列诺格勒 的同步加速器,以及先进的离子源,所以俄罗斯媒体也很有信心地公开表示,这种光刻机将实现28nm、16nm及以下的工艺制程。
  那么X射线能用来光刻吗?
  其实这种技术很早就有了,不论是美国、欧洲还是我国,都研制过X射线光刻机,但因为效率差,一般只适合特定场景的芯片制造,不适合量产场景,所以X射线光刻机一直没能取得大范围的推广和应用。
  X射线大家肯定不陌生,在医院里很常见,很难想象它能应用到光刻机领域。但很多人可能没想到,X射线的波长比EUV极紫外光还要短。
  X射线光刻机使用的是X射线,其波长介于0.01nm到10nm之间,而EUV光刻机使用的是极紫外光波长为13.5nm,可以用于制造7nm及以下的芯片,所以单纯看数据,X射线光刻机是可以达到EUV光刻机的工艺水平的。
  另外,X射线光刻机还有一个优势,那就是不需要光掩模版,可以直写光刻,工艺环节少了一个步骤,不仅成本降低了,良品率也会得到提高。
  当然,说到这儿,还是有很多人会怀疑,俄罗斯到底有没有能力研发出光刻机。
  其实承接这个项目的莫斯科电子技术学院是一所非常厉害的大学,是俄罗斯高科技领域领先的技术大学,它属于俄罗斯国立研究型大学,1965年建校,特色学科就是微电子学、信息技术和计算机工程,拥有现代化的实验室和大量的科技人才。
  其实半导体领域除了资金要求以外,更重要的是人才,而俄罗斯向来不缺人才。例如,2000年左右的时候,华为陷入到3G研发的技术瓶颈,后来研发团队发现一位俄罗斯数学家提出的SingleRAN算法可以取得技术突破,最后将其招致麾下,并在俄罗斯为这位数学家单独设立了研究院。
  后来,采用这位数学家算法的交换机不但信号稳定,体积更小,而且成本降低了2/3,华为凭借着这款交换机,成功的打开了荷兰电信市场,最终在欧洲站稳了脚跟。
  而且俄罗斯开发这种光刻机,还是有很强的技术基础,并不是从零开始的。
  当然,即便如此,还是有很多人不看好这个事儿,毕竟光刻机真的是太难了,ASML的EUV光刻机也不是单它自己,甚至是荷兰一个国家能造出来的,它集合了多个国家的技术、零部件才能打造而成。但科技不就是把不可能变为可能吗?只要有决心,就有机会。
  总之,如果俄罗斯真的能把这款X射线光刻机实现,那么对于我国来说也是一个非常好的启示,以我们的技术实力和资金实力,应该很快就可以在这个技术路线上取得突破。另外, 中俄两国也可以考虑合作,加快开发进度,或者我们买来直接用。而且我国是世界上最大的芯片进口国,市场有了,什么都好说。
  我想这次俄乌冲突以后,西方国家对俄罗斯的疯狂制裁,足以让世界各国看到,美国的霸权主义已经接近疯癫,制裁大棒变成了如同过家家的游戏,看谁不顺眼、谁不听话就挥舞着上去乱打,所以大家心里都很害怕。
  那么有能力的国家一定会自己想办法,尽量摆脱各种有可能被卡脖子的领域。中国在这样做,现如今俄罗斯也要这样做。那么世界上两个超级大国通过努力,打破美国的霸权主义,那么对于全球几十亿人来说,都是一个值得欢庆的好事儿,不是吗。

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