已交付!我国东方晶圆突破8英寸量测设备,ASML可能侵权
一款手机的问世必然离不开大量芯片,而制造这些芯片的前提,就需要有一台光刻机,即便是三星、台积电等芯企想要提高芯片的制程也离不开光刻机,但目前能制造光刻机的厂商仅有ASML一家。
在面临全球缺芯的环境下,ASML本该有着广阔的市场,但没想到的是,由于美不断修改芯片规则,这也导致ASML无法向中国市场自由出货,同时ASML也面临了巨大的压力。对于ASML而言,他们面临的压力不仅是损失了中国市场,而是担心有潜力的中企研发出新技术从而代替ASML。
自我国中科院等企业宣布已在自研光刻机核心技术时,ASML它慌了!因此,ASML对美表示,如果不把光刻机卖给中国,他们在未来就会掌握光刻机的核心技术,届时,我们也将彻底损失中国市场。随着时间的推移和技术的攻克,我国在光刻机领域的突破也迎来好消息。
虽然一台EUV光刻机非常重要,但其电子测量检测系统也是必不可少的一环,它的作用自然也是为了提升芯片良率,就在这个领域,我国东方晶源迎来突破,信息显示,自东方晶源在2021年6月成功研发出12英寸的 CD-SEM 缺陷检测设备后,短短9个月时间,东方晶源如今再次取得突破,并 成功研发出首台8英寸CD-SEM设备 ,目前东方晶源已对燕东微电、中芯国际等中企 完成交付。
东方晶源完成交付后,ASML或许是担心自己地位受到威胁,ASML在毫无根据的情况下对东方晶源进行了职责,并称东方晶源 侵犯了ASML的专利技术 ,同时要求终止与东方晶源的合作。面对ASML这种行为,东方晶源自然也不会低头, 东方晶源表示,我们所有的技术都来源于自主研发,对于不实消息和造谣行为,将追究其法律责任!
此外,东方晶源已和国内多个晶圆代工企业建立了合作关系,同时,东方晶源也得到了行业的认可。在未来,东方晶源也将不断加大技术研发,并继续扩大国内电子束检测等技术设备, 共同推动我国半导体产业发展 。
就在今年5月,上海积塔半导体公司 采购了33台关于半导体制造的设备 ,其中包含了 i-line光刻机、铝蚀刻机、Krf光刻机等,要注意的是,本次采购的设备 大部分都来自于国产设备 ,这也意味这我们正在加速脱离ASML的限制,一旦 上海微电子成功研发出 29纳米制成的DUV光刻机 后,自然也会逐渐将ASML取而代之。
不止东方晶源取得了突破!在5月6日, 上海光机所 在防疫期间攻克了多项关于光刻机的核心技术。
虽然我们在半导体领域起步较晚,导致我们在光刻机和芯片领域现在都依靠外企,但我们也已经开始加快自主研发的脚步,正如倪光南院士所言,核心技术是买不来,换不来的,想要真正的拥有核心技术,也只能靠自主研发去实现。
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