来源:内容来自半导体行业观察(ID:icbank)综合,谢谢。 力积电早前发出公告,公司独立董事暨薪酬委员会委员林本坚因个人业务繁忙,辞任独立董事与薪酬委员会职务,这项人事案将于4月27日起生效。 力积电指出,林本坚于2021年7月2日当选独立董事,原任期将在明年5月26日才截止,不过这次异动仍引发半导体业界讨论。 现年80岁的林本坚目前仍是中研院院士、清大特聘讲座教授,并担任清大半导体学院院长,林在台积电研发副总任内因为研发出浸润式微影技术、改写全球半导体发展史,让台积电甩开与英特尔、三星的距离。 2015年,林本坚从台积电退休时,台积电创办人张忠谋为他举办的晚会上发表感言,张忠谋特别说:「假如没有你和你所建立的团队,台积电的微影不会有今天这规模。」肯定了林本坚过去在台积电15年难以被取代的建树。 林本坚发明的浸润式微影技术,也让艾司摩尔放弃原先157奈米干式微影曝光机的研发,转向与台积电共同开发193纳米浸润式微影机台,此外,IBM、比利时微电子研究中心(Imec)等都改用此项技术。 林本坚这项重大的发明,影响了半导体产业长达20年的发展,是台湾半导体史上关键的一击。 浸润式微影之父:林本坚的最后战役 圣经中,有两个角色80岁后才开始新事业,一位名气很大的先知摩西,另一位则是85岁仍雄心万丈,主动请缨出战亚衲族人的「迦勒」。 10年前,「浸润式微影之父」、前台积研发副总林本坚,在张忠谋80岁生日时,曾写一段祝福的话送给上司,引用摩西的故事,强调:世界上有名的人,都是80岁之后,事业才开始。 对《天下》说到这里,林本坚笑得腼腆,他认为,张忠谋就像摩西,是开路者;而自己像迦勒,是战士、是打仗的人,「我体力虽没有年轻时好,但仍然很活跃的,还能和年轻人较量网球,」他笑着说。 林本坚,今年79岁,觉得自己「还没成年」,正要开始新事业! 中研院首位产业界院士,掌舵清大半导体学院 接受《天下》专访这天,新竹午后明媚的斜阳映入清大教师休息室,林本坚穿着一丝不苟黑西装、发丝梳得笔直,眼神坚定,他将成为清华大学首任「半导体学院院长」,学校刚成立筹备处,预计明年开始招收硕士班学生。 向清大校长贺陈弘推荐林本坚的,是当时的成大副校长吴诚文。 他表示,林本坚身为中研院史上第一个产业界出身院士,在业界、学界都地位尊崇,「有号召力,可为清大带来其他学校没有的竞争力。」吴诚文已于8月重回清大,担任电机系特聘讲座教授。 吴诚文当初告诉贺陈弘,清大在材料研究领域非常强,未来半导体业所需人才,逐渐往材料、设备领域位移。在此趋势下,最适当的人就是林本坚,「他当院长的好处是他在台积做到高位、有重大发明、Morris(张忠谋)也很敬重他,林本坚又熟悉设备、材料,这正是清大强项,可以让清大跟其他学校有区别。」 他笑着说,清大抢先找了林本坚,先声夺人;阳明交大因此跟进,也找了另一个台积退休大将、前技术长孙元成,掌管半导体学院;成大亦有重要人选正在评估。 「现在压力在台大那里了,」吴诚文说。 科技业传奇,发明浸润式微影将摩尔定律推进七代 林本坚,台湾科技业传奇人物。一生追寻光影,人生中有两道关键之光:追随耶稣的圣光和半导体之光。 他在IBM待了22年,2000年后加入台积,推动牵动全球半导体高阶制程最关键的浸润式微影技术,将摩尔定律推进了七代,让台积得以引领全球半导体业技术,成为与英特尔、IBM大厂一较高下的幕后功臣。 从台积退休后几年,林本坚常走到住家附近的关新胜利堂传道,专心投入基督教传福音、服务会友(教会的朋友),甚至夜半三更还在接会友电话,帮他们做心理辅导。 但他感叹地说,也许上帝没打算让他成为全天候的传道者。5年前他开始在清大担任讲座教授,发现传道、授业、解惑的教师角色一如传福音,都在帮助人们得到丰富的生命,因此当清大要成立半导体学院,找他当院长,他「义不容辞」。 「我其实没有花很大力气来说服他,」清大校长贺陈弘说,「林院士不需要钱、也不被金钱诱惑,所以,与其说我争取他,不如说是林院士觉得做半导体学院,是有意义的事!」 苏格拉底式辩论课,培养半导体专才、通才、活才 林本坚要培养半导体的「专才」、「通才」、「活才」。 「专才」指具备扎实的知识理论基础,如林本坚大学时就对数理化用心学习,又毕生投入光学领域的技术突破,将本科学好,培养科学型人才,是台湾半导体学院当务之急。 「通才」则指除了精通自己的学问,还能与机械、物理、设备、设计、制程或材料等其他领域的专才沟通、合作,「要知道其他人在做什么,」然后共同协作、为技术创造更大突破。 「活才」则是具备「解决新问题的能力」。林本坚认为,半导体技术快速迭代,所以必须有新点子、新创意、新方法,才能为公司或为世界解决问题、开创新局。 他回想当年在IBM,尽管懂微影,却不懂与微影搭配的蚀刻技术,是靠与同事请益、合作,才有所理解,这是他从专才到通才的过程。但他希望从学校,就要求学生多选修、成为通才。 要培养活才及独立思考能力,他在教授「半导体纳米微影」课程上,就常进行彷彿苏格拉底式的辩论课,例如他会询问某制程为何会产生放大率的变化?刻意挑战学生:是因为光的方向?冷缩热胀?还是其他原因? 他会要求同学提出至少三种方法并论证优缺点,未必只有一个正解,「我希望他们理解:思考事情、找方法,不只有一个答案。」 过去,林本坚最著名的一点,是只要当他认定某件事在科学上是正确的,绝对坚持下去,「虽千万人吾往矣。」 最著名的事迹,是当初他在扶持浸润式微影技术时,几乎与整个半导体业界对干。 他在日常生活,一样秉持这样的科学精神。例如,他练习打网球时,在球拍上装有感测器,可以显示球的速度、旋转率、球打中球拍的位置是中心或旁边,「这样我就能量化自己的进步,」林本坚说。 林本坚校园人气十足,同学暱称他为「Burn爷爷」,清大7月在官方脸书公布他将成为半导体学院院长,就吸引超过300则同学留言:「XXX,是你最爱的Burn爷」、「名师出高徒」、「回来浸润一下」、「半导体大师」、「工作的保证」。清大内部人士笑说,「Burn爷爷佳评如潮。」 林本坚打算为半导体学院学生聘请海内外权威、技术专家,以co-teaching(协同教学)方式,让学生在台湾校园,就能掌握全球技术进展和实务趋势。 门徒高蔡胜:林本坚给了我国际级战役与视野 只不过,留在台湾念硕、博士,真能成为国际级的人才? 林本坚认为可以,他举了个实例:自己得意部属、前台积OPC(光学接近修正)与光罩部门处长高蔡胜。 「他是国际级的权威,」他说。 高蔡胜毕业自清大物理研究所博士班,是道地土博士,「但我念博士班时,就知道自己这辈子得不到诺贝尔奖,」高蔡胜回想,「我很清楚自己的智力到哪,名、利都不能强求,得自己来。」 是林本坚,给了他国际级的战役与视野。 2000年,林本坚被台积前共同营运长蒋尚义延揽,也找高蔡胜加入台积任技术副理,自此跟着林本坚闯荡半导体江湖。林本坚在各大国际论坛发表论文、讨论技术趋势、提倡浸润式微影制程,自己就跟着去。「当时有很多公开场合的仗要打,我就是当打手!」高蔡胜哈哈大笑、说得直白。 ASML副总裁严涛南:已答应林本坚邀请,将赴清大授课 高蔡胜被林本坚找来当未来清大半导体学院执行长,他说,只要同学在校期间「每个项目都好好做」,就算不出台湾,也能成就事业,成功与否,取决于「本事」与「机运」! 「本事是自己的学问与知识基本功要好,机运则是,找一位肯真心提拔、指点你的大师,为你开拓职涯,」高蔡胜说,与其到美国、澳洲念间不知名大学,不如在台湾找好教授、好业师,让伯乐(业师)引领你,就像当年,林本坚是他的伯乐。 林本坚指出,台湾现在有台积电,也有从IC设计、封装测试等半导体产业链各领域权威,每年都发表国际论文、为科技持续突破。未来这些业界翘楚,都会是学院邀请的关键业师。 例如,他另一个台积旧部属,现任ASML全球副总裁严涛南。 人正在美国的严涛南说,自己已经答应林本坚的邀请,未来会在清大半导体学院当兼任教授授课,「Burn不是manager、他是一个leader!台湾半导体技术研发的成功与这些领导者的存在有关,每个人都可以购买设备,但是否具备领导力?才是关键。」 「我们(台湾半导体)以前落后很多,但现在我们领先很多了!」林本坚也有信心,掌舵半导体学院、有他找来的权威业师,本土人才也能发光发热,他要培养出能与全世界竞争的领导型人才。