摘要 本文从晶体生长科学的角度回顾了单晶的湿化学蚀刻。 起点是有光滑和粗糙的晶体表面。 光滑面的动力学是由粗糙面上不存在的成核势垒控制的。 因此后者蚀刻速度更快数量级。 对金刚石晶体结构的分析表明,晶面是该晶格中唯一光滑的面,其他面可能只是因为表面重建而是光滑的。 通过这种方式,我们解释了在方向上KOH: H20中的最小值。 实验对HF: HN03溶液中接近的最小蚀刻率的形状和从各向同异性向各向异性蚀刻的过渡进行了两个关键预测。 结果与理论结果一致。 理论 该理论的结果如下: 1、粗糙晶体面蚀刻速度比光滑晶体面快得多 2、光滑晶体面的活化能包含一个临界核的自由能 3、 u和y都取决于蚀刻剂的类型 4、靠近光滑面的错位意味着步骤;不需要成核来蚀刻 5、对蚀刻数据的分析可以为真实晶体表面的物理状态提供线索 6、晶体的平衡形式主要是平面,即表面自由能(表面张力)最小的面 7、如果不饱和度大到AG*<
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