首台12英寸超精密晶圆减薄机,正式进入集成电路大生产线
来源:本文转载自[清华大学新闻网],谢谢。
近日,由清华大学机械系路新春教授带领清华大学成果转化项目公司华海清科研发的首台12英寸超精密晶圆减薄机(Versatile-GP300)正式出机,发往国内某集成电路龙头企业。该装备是路新春教授团队与华海清科股份有限公司(以下简称"华海清科")继解决我国集成电路抛光装备"卡脖子"问题后的又一突破性成果,将应用于3D IC制造、先进封装等芯片制造大生产线,满足12英寸晶圆超精密减薄工艺需求。
IC装备新品:12英寸超精密晶圆减薄机
Versatile-GP300
Versatile-GP300解决先进IC制造超精密减薄"卡脖子"问题
12英寸超精密晶圆减薄机是集成电路制造不可或缺的关键装备。该装备复杂程度高、技术攻关难度大且市场准入门槛高,长期被国外厂商高度垄断,国内市场严重依赖进口。为了突破减薄装备领域技术瓶颈,路新春教授带领华海清科利用其在化学机械抛光领域产业化经验,不断探索和开拓新方向,集中力量开展超精密减薄理论与技术研究,攻克晶圆背面超精密磨削、平整度智能控制、表面损伤及缺陷控制系列核心技术,研制出首台用于12英寸3D IC制造、先进封装等领域晶圆超精密减薄机,解决该领域"卡脖子"问题。
9月27日 首台12英寸超精密晶圆减薄机正式出货
二十余年如一日,支撑我国集成电路装备产学研发展
面向国家集成电路产业发展布局,路新春教授团队自2000年起开展化学机械抛光(CMP)基础研究,承担国家重大科技攻关任务十余项,成功孵化华海清科并研制出我国第一台12英寸"干进干出"CMP装备及系列产品,整体技术达到国际先进水平,实现28nm工艺量产,并具备14-7nm工艺拓展能力,创造了多项国产装备纪录。累计超过110余台应用于先进集成电路制造大生产线,市占率、进口替代率均位居国产IC装备前列。系列成果填补了国内空白,打破了国际巨头垄断,首次实现了国产抛光装备的批量产业化应用。
12英寸CMP装备系列化产品
(Universal-300X型)
华海清科:清华大学化学机械抛光与减薄装备技术产业化基地
以产业报国为己任,打造先进集成电路装备产业基地
路新春教授团队坚持认为,大学在解决当前出现的关键核心技术"卡脖子"问题上应当大有作为,且以产业报国为己任,积极推进科研成果转化,实现基础研究和产业需求纵向贯通,孵化出华海清科股份有限公司,是目前我国唯一一家12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商。
*免责声明:本文由作者原创。文章内容系作者个人观点,半导体行业观察转载仅为了传达一种不同的观点,不代表半导体行业观察对该观点赞同或支持,如果有任何异议,欢迎联系半导体行业观察。
今天是《半导体行业观察》为您分享的第2818内容,欢迎关注。
晶圆|集成电路|设备|汽车芯片|存储|台积电|AI|封装
被托运的那些行李箱究竟经历了什么,你知道吗?在这个机票偶尔比高铁票还便宜的年代,人们已经习惯通过搭乘飞机来前往各地,完成自己的旅途了。而行李箱作为旅途中随行左右的伙伴,一旦在登机时托运,将会和主人来一场短暂的分别。那你知道在
你以为智能轮椅仅是为腿脚不便者而存在吗?提到轮椅,大多数人都会觉得这是专门为残障人士或老人们效劳的装备。其实,并非如此!有时,它也能够在其它的特殊场合大展拳脚。比如拍戏使用轮椅,可以拍出很好的推动或拉出镜头。尤其是在一人
找到了!李佳航哄娃豪宅逮虾户的行李箱由于疫情,想必很多人都被逼成了家里蹲,同时也领悟出了居家旅游的究极线路客厅厨房卧室厕所阳台。就连明星也不例外!只不过对于深谙皮一下很开心之道的李佳航来说,带娃居家旅游还有升级版的选
十一过完,2019所有的假期就结束了?十一长假已经结束。相信很多小伙伴都认为2019年的休假计划已经彻底落上帷幕了吧。但其实,有些人的假期可能还没结束。年假,可别忘了!忙碌了大半年,最后的三个月里还不赶紧统计一下自己是
答案接好!关于爱尔威智能新风口罩,你们想知道的那些事近期推出的智能新风口罩,自从众筹问世起,便受到了众多小伙伴的关注。当下,众筹目标已经圆满达成()注意到部分小伙伴提出了一些问题,在此小编总结了一下,统一作答。长时间佩戴是否会觉得重
爱尔威智能新风口罩取得欧盟授权代表并完成产品注册爱尔威研发的智能新风口罩成功取得欧盟授权代表,并完成了产品在欧盟当局的器械注册。根据欧盟法律要求,产品制造商必须要把欧盟授权代表的名称地址等信息印刷在销售到欧盟市场的产品的包装或标
重复佩戴ampampamp舒适不闷!爱尔威智能新风口罩众筹开始啦为了抗击疫情,在外出期间佩戴口罩出行工作已经成为了我们每一个人的生活常态。而长时间佩戴一次性口罩,带来的呼吸不畅问题,困扰着大多数人,尤其是复工的上班族,全天大部分时间都在忍耐着这
高考分数已出!又到了选专业的烧脑时刻啦截止到目前,高考分数已经完全出炉!紧接着出炉的,还有各省市的高考分数线。对各大高校的选择,在分数线出来后,已经可以根据分数圈定前几位了。接下来的重头戏,当然是选专业如果你正在为纠结
大一新生入学还有一个月,行李怎么准备想好了吗?七月已经将近尾声,自高考后彻底放空学业压力的大一新生们,是时候开始考虑接下来的一个月应该如何准备好行李奔赴大学啦很多新生开学日前往学校,就仿佛搬家一样,父母陪同,大包小包,仍觉不够
暑假不再年假来凑!这些打卡点等着你七月的开始意味着暑假的正式上线!对于学生以及老师们来说,将有大把悠闲的时光,可以出去走一走,感受夏季的蓝天白云海浪冰淇淋西瓜而对于上班族来说,也别遗憾,只要你的年假还在,还是可以来
享受不到高考完的加长版暑假,那就体验下答题吧高考结束了!又一届高三考生解放啦!无论考试成绩如何,又将报考哪所学校,对于一路奋战在题海中的他们来说,都将迎来一个加长版的暑假。是不是格外羡慕?!就让小编来帮帮你们。虽然,给不了你